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1. (WO2018166757) DISPOSITIF DE CHARGEMENT DE SUPPORT DE SUBSTRAT AUTOMATISÉ

Pub. No.:    WO/2018/166757    International Application No.:    PCT/EP2018/054024
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Feb 20 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/677
Applicants: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
Inventors: PRETSCHER, Rüdiger
BUCHBERGER, Daniel
Title: DISPOSITIF DE CHARGEMENT DE SUPPORT DE SUBSTRAT AUTOMATISÉ
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de chargement de support de substrat destiné à être utilisé dans une salle blanche et un dispositif de traitement de salle blanche contenant un tel dispositif de chargement de support de substrat. En outre, la présente invention concerne un procédé de chargement d'un support de substrat avec un premier substrat, de préférence avec un premier et un second substrat.