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1. (WO2018166741) APPAREIL D'APPORT DE GAZ ET SOURCE D'ÉCLAIRAGE POUR GÉNÉRER UN RAYONNEMENT HARMONIQUE D'ORDRE ÉLEVÉ
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N° de publication : WO/2018/166741 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/053772
Date de publication : 20.09.2018 Date de dépôt international : 15.02.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 1/84 (2012.01) ,G01N 21/956 (2006.01) ,G02F 1/35 (2006.01) ,H01S 3/00 (2006.01)
[IPC code unknown for G03F 7/20][IPC code unknown for G03F 1/84][IPC code unknown for G01N 21/956][IPC code unknown for G02F 1/35][IPC code unknown for H01S 3]
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
SRIVASTAVA, Sudhir; NL
ROOBOL, Sander, Bas; NL
MATHIJSSEN, Simon, Gijsbert, Josephus; NL
LIN, Nan; NL
DONDERS, Sjoerd, Nicolaas, Lambertus; NL
BUSTRAAN, Krijn, Frederik; NL
SMORENBURG, Petrus, Wilhelmus; NL
BRUSSAARD, Gerrit, Jacobus, Hendrik; NL
Mandataire :
WILLEKENS, Jeroen, Pieter, Frank; NL
Données relatives à la priorité :
17160996.915.03.2017EP
17175640.613.06.2017EP
17189172.404.09.2017EP
Titre (EN) APPARATUS FOR DELIVERING GAS AND ILLUMINATION SOURCE FOR GENERATING HIGH HARMONIC RADIATION
(FR) APPAREIL D'APPORT DE GAZ ET SOURCE D'ÉCLAIRAGE POUR GÉNÉRER UN RAYONNEMENT HARMONIQUE D'ORDRE ÉLEVÉ
Abrégé :
(EN) Disclosed is gas delivery system which is suitable for a high harmonic generation (HHG) radiation source which may be used to generate measurement radiation for an inspection apparatus. In such a radiation source, a gas delivery element delivers gas in a first direction. The gas delivery element has an optical input and an optical input, defining an optical path running in a second direction. The first direction is arranged relative to the second direction at an angle that is not perpendicular or parallel. Also disclosed is a gas delivery element having a gas jet shaping device, or a pair of gas delivery elements, one of which delivers a second gas, such that the gas jet shaping device or second gas is operable to modify a flow profile of the gas such that the number density of the gas falls sharply.
(FR) L'invention concerne un système d'apport de gaz qui convient pour une source de rayonnement générant des harmoniques d'ordre élevé (HHG), laquelle peut être utilisée pour générer un rayonnement de mesure destiné à un appareil d'inspection. Dans une telle source de rayonnement, un élément d'apport de gaz fournit du gaz dans une première direction. L'élément d'apport de gaz comporte une entrée optique, et une entrée optique définissant un trajet optique s'étendant dans une seconde direction. La première direction est agencée par rapport à la seconde direction selon un angle qui n'est pas perpendiculaire ni parallèle. L'invention concerne également un élément d'apport de gaz comportant un dispositif de mise en forme de jet de gaz, ou une paire d'éléments d'apport de gaz dont l'un fournit un second gaz, de sorte que le dispositif de mise en forme de jet de gaz ou le second gaz puisse servir à modifier un profil d'écoulement du gaz en vue de faire chuter fortement le nombre de molécules par unité de volume du gaz.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)