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1. (WO2018166599) APPAREIL DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT UTILISÉ DANS LA FABRICATION D'UNE CELLULE SOLAIRE, SYSTÈME DE FABRICATION DE CELLULES SOLAIRES ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT UTILISÉ DANS LA FABRICATION D'UNE CELLULE SOLAIRE

Pub. No.:    WO/2018/166599    International Application No.:    PCT/EP2017/056241
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 17 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 31/18
H01L 21/677
Applicants: APPLIED MATERIALS ITALIA S.R.L.
Inventors: GISLON, Daniele
Title: APPAREIL DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT UTILISÉ DANS LA FABRICATION D'UNE CELLULE SOLAIRE, SYSTÈME DE FABRICATION DE CELLULES SOLAIRES ET PROCÉDÉ DE TRANSPORT D'UN SUBSTRAT UTILISÉ DANS LA FABRICATION D'UNE CELLULE SOLAIRE
Abstract:
L'invention concerne un appareil (100) pour le transport d'un substrat (10) utilisé dans la fabrication d'une cellule solaire. L'appareil (100) comprend un support de substrat (110) configuré pour supporter le substrat (10), une ou plusieurs poutres (120) configurées pour déplacer le substrat (10) à partir du support de substrat (110) au moins dans une première direction (1), au moins un premier actionneur (130), au moins un dispositif excentrique (140) relié à l'au moins un premier actionneur (130) et configuré pour déplacer l'une ou plusieurs poutres (120) au moins dans la première direction (1), et au moins un second actionneur (150) configuré pour déplacer l'une ou plusieurs poutres (120) dans une seconde direction (2) différente de la première direction (1).