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1. (WO2018166444) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE PHOTOGRAVURE

Pub. No.:    WO/2018/166444    International Application No.:    PCT/CN2018/078829
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 14 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
G03F 9/00
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: ZHOU, Chang
周畅
YANG, Zhiyong
杨志勇
MA, Linlin
马琳琳
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE PHOTOGRAVURE
Abstract:
L'invention concerne un appareil et un procédé de photogravure. L'appareil de photogravure comprend au moins deux ensembles d'appareil d'exposition et un ensemble d'appareil de substrat, l'appareil de substrat comprenant une table de substrat (10) et un substrat (7), la table de substrat (10) portant le substrat (7) ; et lesdits ensembles d'appareil d'exposition sont répartis symétriquement, dans la direction de balayage d'exposition, au-dessus du substrat (7), et forment deux champs d'exposition sur le substrat (7) pour exposer le substrat (7) dans les champs d'exposition.