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1. (WO2018165296) PROCÉDÉS DE DÉPÔT DE GERME MÉTALLIQUE PAR VOIE HUMIDE POUR REMPLISSAGE DE VIDES DU HAUT VERS LE BAS D’ÉLÉMENTS

Pub. No.:    WO/2018/165296    International Application No.:    PCT/US2018/021338
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 08 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/768
H01L 21/02
Applicants: LAM RESEARCH CORPORATION
Inventors: TAN, Samantha
VOLOSSKIY, Boris
KIM, Taeseung
NALLA, Praveen
TJOKRO, Novy
KOLICS, Artur
Title: PROCÉDÉS DE DÉPÔT DE GERME MÉTALLIQUE PAR VOIE HUMIDE POUR REMPLISSAGE DE VIDES DU HAUT VERS LE BAS D’ÉLÉMENTS
Abstract:
L’invention concerne un procédé de dépôt d'un germe métallique pour réaliser un remplissage de vides du haut vers le bas d’éléments d'un substrat consistant à : fournir un substrat comprenant une pluralité d’éléments; écouler une solution de précurseur de métal dilué dans les éléments, la solution de précurseur de métal dilué comprenant un précurseur de métal et un liquide de dilution; évaporer le liquide de dilution pour localiser le précurseur de métal au niveau des fonds de la pluralité d’éléments; exposer le substrat à un traitement au plasma pour réduire le précurseur de métal sur un métal et/ou un alliage métallique et pour former une couche de germe; réaliser un traitement thermique sur le substrat; et utiliser un processus de remplissage de vides sélectif pour remplir les éléments avec un métal de transition en contact avec la couche de germe.