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1. (WO2018164016) PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF UTILISANT UNE TECHNIQUE DE NANO-IMPRESSION OPTIQUE, DISPOSITIF D'IMPRESSION ET COMPOSITION DURCISSABLE

Pub. No.:    WO/2018/164016    International Application No.:    PCT/JP2018/008157
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 03 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/027
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA
キヤノン株式会社
Inventors: ITO Toshiki
伊藤 俊樹
OTANI Tomonori
大谷 智教
KHUSNATDINOV Niyaz
クスナトディノフ ニャーズ
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIF UTILISANT UNE TECHNIQUE DE NANO-IMPRESSION OPTIQUE, DISPOSITIF D'IMPRESSION ET COMPOSITION DURCISSABLE
Abstract:
Le but de la présente invention est d'obtenir une technique de nano-impression optique ayant un temps de remplissage court et un rendement élevé. L'invention concerne un procédé de formation de motif qui utilise une technique de nano-impression optique et qui est caractérisé en ce qu'il comprend, dans l'ordre, une étape de stratification (1) permettant de déposer et de superposer individuellement des gouttelettes d'une composition durcissable (A), qui comprend au moins un composant (a) qui est un composant polymérisable, sur chacune d'une pluralité de régions de tir sur la surface d'un substrat ; une étape de mise en contact avec le moule (2) permettant d'amener la composition durcissable (A) et un moule en contact l'un avec l'autre ; une étape d'exposition à la lumière (3) permettant de durcir la composition durcissable (A) en l'exposant à la lumière provenant du côté du moule ; et une étape de séparation de moule (4) permettant de séparer le moule du matériau durci comprenant la composition durcissable (A) ; et lorsque les étapes allant de l'étape de mise en contact de moule (2) à l'étape de séparation de moule (4) sont collectivement appelées étape d'impression (Im), avant d'effectuer l'étape d'impression (Im) par rapport à une région de tir parmi la pluralité de régions de tir où l'étape de stratification (1) a déjà été effectuée, l'étape de stratification (1) est effectuée, dans l'ordre donné, sur une autre région de tir sélectionnée parmi la pluralité de régions de tir.