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1. (WO2018164013) SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE, POMPE À VIDE DEVANT ÊTRE FOURNIE À UN SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE, DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ DE PURGE, UNITÉ DE CAPTEUR DE TEMPÉRATURE ET PROCÉDÉ D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE
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N° de publication : WO/2018/164013 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/008138
Date de publication : 13.09.2018 Date de dépôt international : 02.03.2018
CIB :
F04D 19/04 (2006.01) ,F04C 25/02 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
D
POMPES À DÉPLACEMENT NON POSITIF
19
Pompes à flux axial spécialement adaptées aux fluides compressibles
02
Pompes multiétagées
04
spécialement adaptées pour réaliser un vide poussé, p.ex. pompes moléculaires
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
C
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, À PISTON ROTATIF OU OSCILLANT; POMPES À DÉPLACEMENT POSITIF, À PISTON ROTATIF OU OSCILLANT
25
Adaptations de pompes pour utilisation spéciale pour les fluides compressibles
02
pour produire un vide élevé
Déposants :
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventeurs :
樺澤 剛志 KABASAWA Takashi; JP
Données relatives à la priorité :
2017-04618110.03.2017JP
Titre (EN) VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, VACUUM PUMP TO BE PROVIDED TO VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM, PURGE GAS FEED DEVICE, TEMPERATURE SENSOR UNIT, AND VACUUM PUMP EXHAUST METHOD
(FR) SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE, POMPE À VIDE DEVANT ÊTRE FOURNIE À UN SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE, DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ DE PURGE, UNITÉ DE CAPTEUR DE TEMPÉRATURE ET PROCÉDÉ D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプの排気システム、真空ポンプの排気システムに備わる真空ポンプ、パージガス供給装置、温度センサユニット、および真空ポンプの排気方法
Abrégé :
(EN) [Problem] To achieve a vacuum pump exhaust system, vacuum pump, purge gas feed device, temperature sensor unit and vacuum pump exhaust method with which it is possible to accurately measure the temperature of rotating parts. [Solution] In a vacuum pump exhaust system according to this embodiment, a vacuum pump supplies, at least when measuring the temperature of rotating parts, purge gas at either the volume at which the flowrate of the purge gas becomes faster than the flowrate of the gas which undergoes reverse flow in at least part of the downstream side from the temperature sensor unit, or at the volume at which the gas pressure in the vicinity of the temperature sensor unit becomes an interflow or a viscous flow. Moreover, the exhaust system according to this embodiment has a purge gas supply device which can control the flow rate of purge gas which is introduced to the vacuum pump. As a result of this configuration, it is possible to prevent backflow of process gas in the vicinity of the temperature sensor unit when measuring temperature, thereby preventing change in the constituent configuration, and making it possible to accurately measure the temperature of rotating parts.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est d'obtenir un système d'échappement de pompe à vide, une pompe à vide, un dispositif d'alimentation en gaz de purge, une unité de capteur de température et un procédé d'échappement de pompe à vide avec lesquels il est possible de mesurer avec précision la température de parties rotatives. Dans un système d'échappement de pompe à vide selon ce mode de réalisation, une pompe à vide fournit, au moins lors de la mesure de la température de parties rotatives, un gaz de purge soit selon un volume auquel le débit du gaz de purge devient plus rapide que le débit du gaz qui subit un écoulement inverse dans au moins une partie du côté aval à partir de l'unité de capteur de température, soit selon un volume auquel la pression de gaz à proximité de l'unité de capteur de température devient un écoulement interflux ou visqueux. De plus, le système d'échappement selon ce mode de réalisation comprend un dispositif d'alimentation en gaz de purge qui peut commander le débit de gaz de purge qui est introduit dans la pompe à vide. En conséquence de cette configuration, il est possible d'empêcher un reflux de gaz de traitement au voisinage de l'unité de capteur de température lors de la mesure de la température, empêchant ainsi un changement de la configuration constitutive, et permettant de mesurer avec précision la température de parties rotatives.
(JA) 【課題】精度良く回転部の温度を測定する真空ポンプの排気システム、真空ポンプ、パージガス供給装置、温度センサユニット、および真空ポンプの排気方法を実現する。 【解決手段】本実施形態に係る真空ポンプの排気システムでは、真空ポンプは、少なくとも回転部の温度測定時に、温度センサユニットより下流側の少なくとも一部で逆流するガスの流速よりもパージガスの流速が速くなる量、または、温度センサユニット周りのガス圧力が中間流または粘性流となる量、いずれか一方の量のパージガスを供給する。さらに、本実施形態の排気システムは、真空ポンプに導入するパージガスの流量を制御し得るパージガス供給装置を有する。この構成により、温度測定時に温度センサユニット周りにおいて、プロセスガスの逆流を防止して成分構成が変化してしまうのを防止し、精度良く回転部の温度を測定することができる。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)