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1. (WO2018163935) EMBASE DE SOUTIEN DE TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/163935    International Application No.:    PCT/JP2018/007542
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 01 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/683
H01L 21/3065
H01L 21/31
Applicants: NGK INSULATORS, LTD.
日本碍子株式会社
Inventors: TAKAHASHI, Tomohiro
高橋 朋大
Title: EMBASE DE SOUTIEN DE TRANCHE
Abstract:
L'invention concerne une embase 20 de soutien de tranche, comportant un substrat 22 en céramique en forme de disque présentant une surface 22a de montage de tranche, et comprenant une électrode 23 à RF et une électrode 30 de chauffage qui sont encastrées dans cet ordre dans le substrat 22 en céramique à partir du côté de la surface 22a de montage de tranche. L'électrode 23 à RF est constituée d'une pluralité d'électrodes 24, 25 de zones à RF formées dans des zones sur le même plan. La pluralité d'électrodes 24, 25 de zones à RF et l'électrode 30 de chauffage sont respectivement reliées indépendamment à une pluralité de conducteurs 34, 35 d'électrodes de zones à RF et à des éléments 38, 38 de câblage qui sont placés à l'extérieur d'une surface arrière 22b du substrat 22 en céramique.