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1. (WO2018163748) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/163748    International Application No.:    PCT/JP2018/005307
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/683
H01L 21/304
Applicants: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
株式会社SCREENホールディングス
Inventors: YANO, Wataru
矢野 航
NONOMURA, Masahiro
野々村 正浩
FURUKAWA, Masaaki
古川 正晃
Title: APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract:
Cet appareil de traitement de substrat comprend : une base qui tourne autour d'une ligne d'axe de rotation verticale; une pluralité de broches de maintien disposées, sur la base, à des intervalles le long de la direction de rotation de la base, et maintenant une partie de bord périphérique du substrat au-dessus de la base; un élément de face disposé entre la base et le substrat, et apte à monter et à descendre entre une position séparée espacée vers le bas à partir du substrat et une position proche plus proche du substrat que la position séparée, l'élément de face faisant face au substrat par le dessous; un élément d'avant-toit disposé au-dessous du substrat et relié aux broches de maintien de façon à faire face à l'élément de face par le dessus; et une structure d'étanchéité pour sceller l'espace entre l'élément d'avant-toit et une partie de bord périphérique de la surface supérieure de l'élément de face lorsque l'élément de face est positionné au niveau de la position rapprochée.