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1. (WO2018163617) COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE AINSI QUE PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2018/163617    International Application No.:    PCT/JP2018/001646
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 20 00:59:59 CET 2018
IPC: C11D 1/22
C11D 1/14
C11D 1/28
C11D 1/29
C11D 1/34
C11D 3/37
H01L 21/304
Applicants: FUJIMI INCORPORATED
株式会社フジミインコーポレーテッド
Inventors: ISHIDA, Yasuto
石田 康登
Title: COMPOSITION DE TRAITEMENT DE SURFACE AINSI QUE PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR
Abstract:
L’invention a pour objet de fournir un moyen destiné à retirer de manière suffisante des résidus à la surface d’un objet à polir à l’aide d’un agent de polissage, laquelle surface contient un nitrure de silicium, un oxyde de silicium ou un polysilicium. Plus précisément, l’invention concerne une composition de traitement de surface de pH inférieur à 7, et comprenant un tensio-actif anionique de masse moléculaire inférieure ou égale à 1000, et une eau. La proportion en masse moléculaire d’une partie hydrophile (masse moléculaire de partie hydrophile / masse moléculaire de partie hydrophobe) est supérieure ou égale à 0,4 par rapport à la masse moléculaire d’une partie hydrophobe du tensio-actif anionique (la partie hydrophobe consiste en un groupe hydrocarbure de nombre d’atomes de carbone supérieur ou égal à 4, et la partie hydrophile consiste en une portion excluant la partie hydrophobe et des contre-ions. Cette composition de traitement de surface est mise en œuvre afin de traiter en surface un objet à polir à l’aide d’un agent de polissage contenant au moins un élément choisi dans un groupe constitué d’un nitrure de silicium, d’un oxyde de silicium et d’un polysilicium.