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1. (WO2018163503) DISPOSITIF D'AFFICHAGE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2018/163503    International Application No.:    PCT/JP2017/039428
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 01 00:59:59 CET 2017
IPC: H05B 33/04
C23C 16/40
C23C 16/455
C23C 16/50
G09F 9/30
H01L 27/32
H01L 51/50
H05B 33/02
H05B 33/10
Applicants: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
株式会社日本製鋼所
Inventors: WASHIO, Keisuke
鷲尾 圭亮
MATSUMOTO, Tatsuya
松本 竜弥
EBISAWA, Takashi
海老沢 孝
SHIDA, Junichi
次田 純一
Title: DISPOSITIF D'AFFICHAGE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage ayant un élément EL organique, le procédé comprenant : une étape de formation d'un élément EL organique sur un substrat (11) constitué d'un substrat souple ; et une étape d'utilisation d'un procédé ALD pour former un film protecteur (16) constitué d'un matériau isolant inorganique destiné à recouvrir l'élément EL organique. Dans l'étape de formation du film protecteur (16), le film protecteur (16) est formé par réalisation en alternance d'une étape de formation d'une couche à haute densité (16H) à l'aide du procédé ALD, et d'une étape de formation d'une couche à faible densité (16L) à l'aide du procédé ALD, la couche à faible densité (16L) étant composée des mêmes éléments constitutifs que ceux de la couche à haute densité (16H) et ayant une densité inférieure à celle de la couche à haute densité (16H). Le film protecteur (16) est composé d'au moins une couche à haute densité (16H) et d'au moins une couche à faible densité (16L), et présente une structure stratifiée dans laquelle la couche à faible densité (16L) et la couche à haute densité (16H) sont stratifiées en alternance de manière à être en contact l'une avec l'autre.