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1. (WO2018163287) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT MATRICIEL ACTIVE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE ET SUBSTRAT MATRICIEL ACTIF

Pub. No.:    WO/2018/163287    International Application No.:    PCT/JP2017/009010
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 08 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/336
H01L 29/786
Applicants: SHARP KABUSHIKI KAISHA
シャープ株式会社
Inventors: SAITOH, Takao
斉藤 貴翁
KANZAKI, Yohsuke
神崎 庸輔
MIWA, Masahiko
三輪 昌彦
YAMANAKA, Masaki
山中 雅貴
KANEKO, Seiji
金子 誠二
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT MATRICIEL ACTIVE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE ÉLECTROLUMINESCENT ORGANIQUE ET SUBSTRAT MATRICIEL ACTIF
Abstract:
Dans l'étape de formation d'électrode de grille selon la présente invention, un second film métallique (18b) est formé sur un premier film métallique (18a) en ajoutant de l'oxygène ou de l'azote à une atmosphère de gaz inerte, et après la formation de motifs sur le premier film métallique (18a) et le second film métallique (18b), un troisième film métallique (18c) est formé par réalisation d'un traitement au plasma à l'aide d'oxygène ou d'azote, formant ainsi une électrode de grille (18a). Par conséquent, un cristal aciculaire ou un cristal granulaire est empêché d'être formé, tout en supprimant la détérioration de l'efficacité de production.