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1. (WO2018163101) CAPTEUR MICROFLUIDIQUE ET PROCÉDÉ D'OBTENTION D'UN TEL CAPTEUR
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N° de publication : WO/2018/163101 N° de la demande internationale : PCT/IB2018/051517
Date de publication : 13.09.2018 Date de dépôt international : 08.03.2018
CIB :
B81C 1/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
Déposants :
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) [CH/CH]; EPFL-TTO EPFL Innovation Park J 1015 Lausanne, CH
Inventeurs :
BONZON, David Vincent; CH
LANY, Marc; CH
MULLER, Georges Henri; CH
RENAUD, Philippe; CH
AEBERLI, Luc; CH
VAN NEYGHEM, Niklas; CH
BRASCHLER, Thomas; CH
CHOPPE, Jonas; CH
Mandataire :
ROLAND, André; CH
Données relatives à la priorité :
PCT/IB2017/05138509.03.2017IB
Titre (EN) MICROFLUIDIC SENSOR AND METHOD FOR OBTAINING SUCH A SENSOR
(FR) CAPTEUR MICROFLUIDIQUE ET PROCÉDÉ D'OBTENTION D'UN TEL CAPTEUR
Abrégé :
(EN) The invention describes a method for producing hybrid microelectronic/microfluidic sensors at industrial scale. The method is characterized in that it comprises the following steps for obtaining said microfluidic channel: a) a first lamination step of a dry film resist onto a PCB panel; b) a photostructuration step of the dry film resist on the PCB panel; and c) a closure step of the photostructured dry film resist to obtain the microfluidic channel. The method adapts standard PCB manufacturing processes used at industrial level by repeating some of the passages thereof, in order to produce microfluidic channels built-in with the microelectronic components in the form of a photostructured dry film resist laminated on a previously obtained PCB panel. The microchannels are moreover simply integrated in the final sensors via standardized design rules and tools used in industrial PCB manufacturing. Microelectronic/microfluidic sensors obtainable by the presently invented method are also herein disclosed.
(FR) L'invention concerne un procédé de production de capteurs micro-électroniques/microfluidiques hybrides à l'échelle industrielle. Le procédé se caractérise en ce qu'il comprend les étapes suivantes pour obtenir ledit canal microfluidique : a) une première étape de stratification d'une réserve de film sec sur un panneau PCB ; b) une étape de photostructuration de la réserve de film sec sur le panneau de PCB ; et c) une étape de fermeture de la réserve de film sec photostructurée pour obtenir le canal microfluidique. Le procédé adapte des procédés de fabrication de PCB standard utilisés à un niveau industriel en répétant certains des passages de ces derniers, afin de produire des canaux microfluidiques intégrés avec les composants microélectroniques sous la forme d'une réserve de film sec photostructurée stratifiée sur un panneau PCB précédemment obtenu. Les microcanaux sont par ailleurs simplement intégrés dans les capteurs finaux par l'intermédiaire de règles de conception normalisées et d'outils utilisés dans la fabrication industrielle de PCB. L'invention concerne également des capteurs microélectroniques/microfluidiques pouvant être obtenus par le procédé présentement décrit.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)