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1. (WO2018162479) SUPERCONDENSATEUR INCORPORÉ À UNE PUCE À NANOSTRUCTURE DE SILICIUM

Pub. No.:    WO/2018/162479    International Application No.:    PCT/EP2018/055471
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Mar 07 00:59:59 CET 2018
IPC: H01G 11/26
H01G 11/46
H01G 11/02
H01G 11/70
H01G 11/86
H01G 11/68
H01G 11/28
Applicants: UNIVERSITY COLLEGE OF SOUTHEAST NORWAY
Inventors: CHEN, Xuyuan
LU, Pai
ØHLCKERS, Per Alfred
Title: SUPERCONDENSATEUR INCORPORÉ À UNE PUCE À NANOSTRUCTURE DE SILICIUM
Abstract:
L'invention concerne un supercondensateur incorporé à une puce ayant une électrode comprenant des nanostructures de silicium unidimensionnelles (Si) (3) revêtues d'une première couche (10) de nitrure de titane (TiN). Il comprend en outre une seconde couche (20) de dioxyde de manganèse (MnO2) déposée sur la première couche. L’invention concerne également un procédé associé.