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1. (WO2018162358) SYSTÈME D'ÉVACUATION D'UNE CHAMBRE
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N° de publication : WO/2018/162358 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/055210
Date de publication : 13.09.2018 Date de dépôt international : 02.03.2018
CIB :
H01J 37/18 (2006.01) ,F04B 37/08 (2006.01) ,F04B 49/06 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
18
Fermetures étanches
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
37
Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes F04B25/-F04B35/178
06
pour l'évacuation par moyens thermiques
08
par condensation ou réfrigération, p.ex. pompes cryogéniques
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
49
Commande des "machines", pompes ou installations de pompage ou mesures de sécurité les concernant non prévues dans les groupes F04B1/-F04B47/179
06
Commande utilisant l'électricité
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
HERMES MICROVISION, INC.; 7F, No.18, Puding Rd., East Dist. 300 Hsinchu City, TW
Inventeurs :
LI, Fangfu; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/467,99407.03.2017US
62/534,03218.07.2017US
Titre (EN) SYSTEM FOR EVACUATING A CHAMBER
(FR) SYSTÈME D'ÉVACUATION D'UNE CHAMBRE
Abrégé :
(EN) Systems and methods are provided for evacuating a chamber (101). The evacuation system comprises a cooler (320) coupled with the chamber and a controller (350). The controller is configured to determine whether a property of the cooler or the chamber satisfies one or more conditions. Based on the determination that the property satisfies the one or more conditions, the controller is configured to isolate the cooler from the chamber or control the temperature of the cooler to increase at one or more rates. The controller is further configured to control one or more pumps 330,340 to pump the chamber to a base pressure value.
(FR) L'invention concerne des systèmes d'évacuation de chambre (101). Le système d'évacuation peut comprendre un refroidisseur (320) couplé à la chambre et un dispositif de commande (350). Le dispositif de commande peut être configuré pour déterminer si une propriété du refroidisseur ou de la chambre satisfait ou non une ou plusieurs conditions. Sur la base de la détermination selon laquelle la propriété satisfait la ou les conditions, le dispositif de commande peut être configuré pour isoler le refroidisseur de la chambre ou pour commander la température du refroidisseur afin d'augmenter un ou plusieurs débits. Le dispositif de commande peut en outre être configuré pour commander une ou plusieurs pompes 330,340 de manière à pomper la chambre jusqu'à une valeur de pression de base.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)