Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018162343) SONDE POUR TESTER UNE PROPRIÉTÉ ÉLECTRIQUE D'UN ÉCHANTILLON D'ESSAI

Pub. No.:    WO/2018/162343    International Application No.:    PCT/EP2018/055159
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 03 00:59:59 CET 2018
IPC: G01R 1/067
G01R 3/00
G01R 1/073
G01R 31/28
G01R 31/26
H01L 21/66
Applicants: CAPRES A/S
Inventors: SHIV, Lior
Title: SONDE POUR TESTER UNE PROPRIÉTÉ ÉLECTRIQUE D'UN ÉCHANTILLON D'ESSAI
Abstract:
L'invention concerne une sonde pour la caractérisation électrique à l'échelle nanométrique et à micro-échelle directe de matériaux et de tranches semi-conductrices. La sonde comprend un corps de sonde, un premier élément en porte-à-faux s'étendant à partir du corps de sonde. Le premier élément en porte-à-faux définit une première boucle par rapport audit corps de sonde. La sonde comprend en outre une première sonde de contact supportée par ledit premier élément en porte-à-faux, et une seconde sonde de contact étant électriquement isolée de la première sonde de contact. La seconde sonde de contact est supportée par le premier élément en porte-à-faux ou par un second élément en porte-à-faux s'étendant à partir du corps de sonde.