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1. (WO2018162281) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTERMINATION D'UNE FORME DE RÉPARATION POUR TRAITER UN DÉFAUT D'UN MASQUE PHOTOLITHOGRAPHIQUE

Pub. No.:    WO/2018/162281    International Application No.:    PCT/EP2018/054782
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 28 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 1/72
G03F 1/74
G03F 1/84
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: OSTER, Jens
WAIBLINGER, Markus
Title: PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTERMINATION D'UNE FORME DE RÉPARATION POUR TRAITER UN DÉFAUT D'UN MASQUE PHOTOLITHOGRAPHIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de détermination d'une forme de réparation (195) pour traiter au moins un défaut (140) d'un masque photolithographique (100) comprenant les étapes suivantes : (a) la détermination d'au moins une valeur de correction (185) pour la forme de réparation (195) du ou des défauts (140), la valeur de correction (185) prenant en compte une position (175) d'au moins un élément de motif (130) du masque photolithographique (100), ledit au moins un élément de motif n'étant pas en contact avec le ou les défauts (140) ; et (b) la correction de la forme de réparation (195) en appliquant la ou les valeurs de correction (185).