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1. (WO2018162070) SUPPORT DE SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE

Pub. No.:    WO/2018/162070    International Application No.:    PCT/EP2017/055608
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 10 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/683
Applicants: EV GROUP E. THALLNER GMBH
Inventors: FLÖTGEN, Christoph
Title: SUPPORT DE SUBSTRAT ÉLECTROSTATIQUE
Abstract:
L'invention concerne un support de substrat électrostatique (2) destiné à recevoir et à maintenir un substrat (4), ce support comprenant : un rotor (6, 6', 6", 6"') présentant un élément de maintien (7, 7', 7") pour fixer le substrat (4) sur une surface de maintien (7h, 7h', 7h"), un stator (5, 5', 5", 5'", 5iv) destiné à recevoir et à supporter le rotor (6, 6', 6", 6"'), ainsi que des électrodes (11, 11', 11") destinées à générer une force de maintien électrostatique pour fixer le substrat (4), le stator (5, 5', 5", 5"', 5iv) présentant les électrodes (11, 11', 11").