Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018159713) REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION, POUDRE DE PULVÉRISATION, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE POUDRE DE PULVÉRISATION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/159713 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/007624
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 28.02.2018
CIB :
C23C 4/04 (2006.01) ,C01F 17/00 (2006.01) ,H01L 21/302 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
4
Revêtement par pulvérisation du matériau de revêtement à l'état fondu, p.ex. par pulvérisation à l'aide d'une flamme, d'un plasma ou d'une décharge électrique
04
caractérisé par le matériau de revêtement
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
01
CHIMIE INORGANIQUE
F
COMPOSÉS DE BÉRYLLIUM, MAGNÉSIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARYUM, RADIUM, THORIUM OU COMPOSÉS DES MÉTAUX DES TERRES RARES
17
Composés des métaux des terres rares, c. à d. scandium, yttrium, lanthane ou du groupe des lanthanides
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
302
pour changer leurs caractéristiques physiques de surface ou leur forme, p.ex. gravure, polissage, découpage
Déposants :
信越化学工業株式会社 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都千代田区大手町二丁目6番1号 6-1, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004, JP
Inventeurs :
濱谷 典明 HAMAYA Noriaki; JP
植原 一郎 UEHARA Ichiro; JP
Mandataire :
特許業務法人英明国際特許事務所 PATENT PROFESSIONAL CORPORATION EI-MEI PATENT OFFICE; 東京都中央区銀座二丁目16番12号 銀座大塚ビル2階 GINZA OHTSUKA Bldg. 2F, 16-12, Ginza 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040061, JP
Données relatives à la priorité :
2017-03817401.03.2017JP
Titre (EN) SPRAY COATING, SPRAYING POWDER, SPRAYING POWDER MANUFACTURING METHOD AND SPRAY COATING MANUFACTURING METHOD
(FR) REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION, POUDRE DE PULVÉRISATION, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE POUDRE DE PULVÉRISATION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE REVÊTEMENT PAR PULVÉRISATION
(JA) 溶射皮膜、溶射用粉、溶射用粉の製造方法、及び溶射皮膜の製造方法
Abrégé :
(EN) Provided is a spray coating containing a rare earth fluoride and/or a rare earth acid fluoride, wherein carbon is contained therein at 0.01-2% by mass or titanium or molybdenum is contained therein at 1-1000 ppm, and wherein, in the case in which an acid fluoride is not contained therein, the spray coating is gray to black in which, in terms of the L*a*b* chromaticity, L* is 25-64, a* is -3.0 to +5.0, and b* is -4.0 to +8.0, and, in the case in which an acid fluoride is contained therein, the spray coating is white or gray to black in which, in terms of the L*a*b* chromaticity, L* is equal to or greater than 25 and less than 91, a* is -3.0 to +5.0, and b* is -6.0 to +8.0. By forming this coating on a plasma resistant member, a partial color change is reduced, the situation in which said member is washed in a manner that causes partial deterioration thereof when being removed and washed is eliminated, and thus, a member that is capable of reliably realizing the original longevity thereof is obtained.
(FR) La présente invention concerne un revêtement par pulvérisation contenant un fluorure de terre rare et/ou un fluorure d’acide de terre rare, dans lequel du carbone est contenu dans celui-ci à 0,01 à 2 % en masse ou du titane ou du molybdène est contenu dans celui-ci à 1 à 1 000 ppm, et dans lequel, dans le cas où un fluorure d’acide n’est pas contenu dans celui-ci, le revêtement par pulvérisation est gris à noir dans lequel, en termes de chromaticité L*a*b* , L* est de 25 à 64, a* est de -3,0 à +5,0, et b* est de -4,0 à +8,0, et, dans le cas où un fluorure d’acide est contenu dans celui-ci, le revêtement par pulvérisation est blanc ou gris au noir dans lequel, en termes de chromaticité L*a*b*, L* est supérieur ou égal à 25 et inférieur à 91, a* est de -3,0 à +5,0, et b* est de -6,0 à +8,0. En formant ce revêtement sur un élément résistant au plasma, un changement de couleur partiel est réduit, la situation dans laquelle ledit élément est lavé d’une manière qui cause une dégradation partielle de celui-ci lorsqu’il est retiré et lavé est éliminée, et ainsi, un élément qui est capable de réaliser de façon fiable la longévité originale de celui-ci est obtenu.
(JA) 希土類フッ化物及び/又は希土類酸フッ化物を含む溶射皮膜であり、カーボンを0.01~2質量%、あるいはチタン又はモリブデンを1~1000ppm含有し、かつ、酸フッ化物を含まない場合、L***色度表示でL*が25~64、a*が-3.0~+5.0、b*が-4.0~+8.0の灰色乃至黒色を呈し、酸フッ化物を含む場合、L***色度表示でL*が25以上91未満、a*が-3.0~+5.0、b*が-6.0~+8.0の白色又は灰色乃至黒色を呈する溶射皮膜を提供する。この皮膜を耐プラズマ部材に形成すれば、部分的な色の変化が少なく、取り出し洗浄のときも部分的に無理な洗浄を施すこともなくなり、本来の長寿命を確実に実現できる部材となる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)