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1. (WO2018159596) SUBSTRAT POUR DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE, ET ÉLÉMENT À PSEUDO-ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE

Pub. No.:    WO/2018/159596    International Application No.:    PCT/JP2018/007205
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 28 00:59:59 CET 2018
IPC: H03H 9/25
Applicants: KYOCERA CORPORATION
京セラ株式会社
Inventors: UTO, Takashi
宇都 隆司
Title: SUBSTRAT POUR DISPOSITIF À ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE, ET ÉLÉMENT À PSEUDO-ONDES ÉLASTIQUES DE SURFACE
Abstract:
Le substrat pour dispositif à ondes élastiques de surface de l’invention est constitué d’un matériau piézoélectrique, et est équipé d’une première face sur laquelle se propagent des ondes élastiques de surface, et d’une seconde face positionnée face à la première face. La seconde face satisfait à la fois une rugosité moyenne arithmétique (Ra) comprise entre 0,2μm et 0,4μm, une relation entre la rugosité moyenne arithmétique (Ra) et un intervalle moyen (S) de sommets locaux telle que Ra/S≧11, et une relation entre la rugosité moyenne arithmétique (Ra) et un intervalle moyen (Sm) de creux et reliefs telle que Ra/Sm≧6,7. En outre, la seconde face satisfait à la fois une hauteur maximale (Rmax) comprise entre 2,5μm et 4,5μm, une relation entre la hauteur maximale (Rmax) et un intervalle moyen (S) de sommets locaux telle que Rmax/S≧130, et une relation entre la hauteur maximale (Rmax) et un intervalle moyen (Sm) de creux et reliefs telle que Rmax/Sm≧80.