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1. (WO2018159401) DISPOSITIF DE DÉCOLLAGE LASER ET PROCÉDÉ DE DÉCOLLAGE LASER

Pub. No.:    WO/2018/159401    International Application No.:    PCT/JP2018/006159
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 22 00:59:59 CET 2018
IPC: B23K 26/0622
B23K 26/00
B23K 26/53
H01L 21/268
Applicants: V TECHNOLOGY CO., LTD.
株式会社ブイ・テクノロジー
Inventors: YANAGAWA, Yoshikatsu
柳川 良勝
FUJIMORI, Yuya
藤森 裕也
UENOSONO, Takahide
上之園 隆秀
Title: DISPOSITIF DE DÉCOLLAGE LASER ET PROCÉDÉ DE DÉCOLLAGE LASER
Abstract:
La présente invention comprend : une partie d'émission laser (2) qui décale, par commande d'impulsion, des synchronisations d'oscillation d'une pluralité de faisceaux laser possédant des rapports d'énergie différents, et qui émet, à partir de différents trajets optiques, un premier faisceau laser possédant une énergie élevée, puis un second faisceau laser possédant une énergie faible ; un système optique (3) qui guide le premier faisceau laser et le second faisceau laser vers le même trajet optique, qui synthétise un faisceau laser possédant une forme d'onde d'impulsion et possédant une pluralité de pics sur la base d'une différence de temps entre les synchronisations d'oscillation, et qui change le faisceau laser synthétisé en un faisceau de ligne et conduit le faisceau de ligne vers une zone d'irradiation dans un corps stratifié ; un mécanisme de transport (4) qui déplace le corps stratifié dans une surface horizontale ; et une unité de commande (5) qui commande la partie d'émission laser et le mécanisme de transport d'une manière intégrée de sorte que le corps stratifié soit déplacé séquentiellement et que la zone d'irradiation du corps stratifié soit irradiée avec le faisceau de ligne à une synchronisation prédéterminée. Par conséquent, la fixation de contaminants sur une couche à exfolier est supprimée, et la couche à exfolier peut être exfoliée.