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1. (WO2018159207) SYSTÈME D'INSPECTION

Pub. No.:    WO/2018/159207    International Application No.:    PCT/JP2018/003382
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/66
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
Inventors: KAGAMI Tetsuya
加賀美 徹也
Title: SYSTÈME D'INSPECTION
Abstract:
Système d'inspection (100) comprenant : une pluralité d'unités de sondeur (10) qui amènent une sonde dans une carte de sonde à entrer en contact avec des dispositifs formés sur un substrat sur un étage ; et un testeur qui applique un signal électrique à la pluralité des dispositifs sur le substrat par l'intermédiaire de la carte sonde et qui inspecte les caractéristiques électriques des dispositifs. La pluralité d'unités de sondeur (10) sont agencées de telle sorte qu'une pluralité d'unités ayant les unités de sondeur respectives (10) empilées en de multiples étages à l'intérieur de celles-ci sont agencées alignées dans la direction horizontale ; et des unités de test (20) constituant une section principale du testeur sont agencées sur le côté d'unités de sondeur prescrites (10) parmi la pluralité d'unités de sondeur (10).