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1. (WO2018159190) SYSTÈME D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'ANALYSE/PRÉDICTION DE DYSFONCTIONNEMENT POUR SYSTÈME D'INSPECTION
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N° de publication : WO/2018/159190 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/002934
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 30.01.2018
CIB :
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28
Essai de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventeurs : KAGAMI Tetsuya; JP
Mandataire : TAKAYAMA Hiroshi; JP
Données relatives à la priorité :
2017-03945802.03.2017JP
Titre (EN) INSPECTION SYSTEM AND MALFUNCTION ANALYSIS/PREDICTION METHOD FOR INSPECTION SYSTEM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'ANALYSE/PRÉDICTION DE DYSFONCTIONNEMENT POUR SYSTÈME D'INSPECTION
(JA) 検査システム、および検査システムの故障解析・予知方法
Abrégé :
(EN) An inspection device (100) having: a prober (200) that has a stage (26) holding a substrate (W) having a plurality of devices formed thereupon, a transport unit (22) that transports the substrate (W) to the stage (26), and a probe card (25) that causes a plurality of probes 25a to come in contact with electrodes in the plurality of devices upon the substrate (W); a tester (300) that applies an electric signal to the plurality of devices upon the substrate (W) via the probe card (25) and inspects the electrical characteristics of the devices; and a malfunction analysis/prediction unit (400) that, when a malfunction has occurred during inspection or a sign indicates a stage prior to a malfunction, analyzes history information for the prober (200) and tester (300) related to that malfunction and ascertains or predicts the location of the malfunction.
(FR) Cette invention concerne un dispositif d'inspection (100), comprenant : un sondeur (200) qui a un étage (26) supportant un substrat (W) ayant une pluralité de dispositifs formés sur celui-ci, une unité de transport (22) qui transporte le substrat (W) vers l'étage (26), et une carte sonde (25) qui amène une pluralité de sondes (25a) à venir en contact avec des électrodes dans la pluralité de dispositifs sur le substrat (W) ; un testeur (300) qui applique un signal électrique à la pluralité de dispositifs sur le substrat (W) par l'intermédiaire de la carte sonde (25) et inspecte les caractéristiques électriques des dispositifs ; et une unité d'analyse/prédiction de dysfonctionnement (400) qui, lorsqu'un dysfonctionnement s'est produit pendant l'inspection ou un signe indique une étape précédant un dysfonctionnement, analyse des informations d'historique pour le sondeur (200) et le testeur (300) associées à ce dysfonctionnement et détermine ou prédit l'emplacement du dysfonctionnement.
(JA) 検査装置(100)は、複数のデバイスが形成された基板Wを保持するステージ(26)と、基板(W)をステージ(26)に搬送する搬送部(22)と、複数のプローブ25aを基板(W)上の複数のデバイスの電極に接触させるプローブカード(25)とを有するプローバ(200)と、プローブカード(25)を介して基板(W)上の複数のデバイスに電気的信号を与え、デバイスの電気特性を検査するテスタ(300)と、検査の際に故障が発生したとき、または故障の前段階の兆候が発生したときに、その故障に関連するプローバ(200)とテスタ(300)の履歴情報を解析して故障の箇所を把握または予知する故障解析・予知処理部(400)とを有する。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)