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1. (WO2018159159) GALETTE DE MICROCANAUX ET TUBE MULTIPLICATEUR D'ÉLECTRONS

Pub. No.:    WO/2018/159159    International Application No.:    PCT/JP2018/001984
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 24 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 43/24
Applicants: HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
浜松ホトニクス株式会社
Inventors: NAGATA Takaaki
永田 貴章
HAMANA Yasumasa
浜名 康全
NISHIMURA Hajime
西村 一
MASUKO Daichi
増子 太地
Title: GALETTE DE MICROCANAUX ET TUBE MULTIPLICATEUR D'ÉLECTRONS
Abstract:
L'invention concerne une galette de microcanaux comprenant : un substrat qui possède une surface avant, une surface arrière et une surface latérale ; une pluralité de canaux qui pénètrent dans le substrat de la surface avant à la surface arrière ; un premier film qui est disposé sur au moins la surface de paroi interne de chaque canal ; un deuxième film qui est disposé sur au moins une partie du premier film ; et des couches d'électrode qui sont respectivement disposées sur la surface avant et la surface arrière du substrat. Le premier film est constitué de MgO ; le deuxième film est constitué de SiO2 ; et l'épaisseur du deuxième film est inférieure à l'épaisseur du premier film.