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1. (WO2018159056) SOURCE D’ÉLECTRONS ET DISPOSITIF À FAISCEAU D’ÉLECTRONS UTILISANT CELLE-CI

Pub. No.:    WO/2018/159056    International Application No.:    PCT/JP2017/044177
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 09 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 1/15
H01J 1/16
H01J 9/04
H01J 37/06
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: KUSUNOKI Toshiaki
楠 敏明
KASUYA Keigo
糟谷 圭吾
OHSHIMA Takashi
大嶋 卓
HASHIZUME Tomihiro
橋詰 富博
ARAI Noriaki
荒井 紀明
OSE Yoichi
小瀬 洋一
Title: SOURCE D’ÉLECTRONS ET DISPOSITIF À FAISCEAU D’ÉLECTRONS UTILISANT CELLE-CI
Abstract:
L'invention concerne une source d'électrons pouvant être utilisée de manière stable sur une longue période de temps même si un composé d'hexaborure est utilisé, et un dispositif à faisceau d'électrons utilisant cette source d'électrons. La source d'électrons comprend : un filament métallique (103); un tube métallique (112) fixé sur le filament (103) et ayant une pluralité de parties évidées (117) disposées dans au moins deux directions axiales dans sa périphérie externe de manière à entourer un axe central; et une pointe de composé d'hexaborure en colonne (104) d'où des électrons sont libérés, disposée de manière à faire saillie à partir de l'intérieur du tube métallique (112) vers le côté opposé au filament (103), et en contact avec les parties inférieures respectives de la pluralité de parties évidées (117) à partir du tube métallique (112).