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1. (WO2018158983) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
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N° de publication : WO/2018/158983 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/030703
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 28.08.2017
CIB :
G01B 11/25 (2006.01) ,G01N 21/956 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
25
en projetant un motif, p.ex. des franges de moiré, sur l'objet
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956
Inspection de motifs sur la surface d'objets
Déposants :
CKD株式会社 CKD CORPORATION [JP/JP]; 愛知県小牧市応時二丁目250番地 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551, JP
Inventeurs :
梅村 信行 UMEMURA Nobuyuki; JP
大山 剛 OHYAMA Tsuyoshi; JP
坂井田 憲彦 SAKAIDA Norihiko; JP
Mandataire :
川口光男 KAWAGUCHI Mitsuo; JP
Données relatives à la priorité :
2017-03931102.03.2017JP
Titre (EN) THREE-DIMENSIONAL MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE TRIDIMENSIONNELLE
(JA) 三次元計測装置
Abrégé :
(EN) Provided is a three-dimensional measurement device capable of preventing a reduction in measurement accuracy during three-dimensional measurement. A substrate inspection device 1 comprises a projection device 4 that projects a stripe pattern onto a printed substrate 2; a camera 5 that images a portion of the printed substrate 2 onto which the stripe pattern has been projected; and a control device 6 that performs various types of control in the substrate inspection device 1. The projection device 4 comprises, a light source 4a that emits predetermined light and a DMD 4b that converts the light from the light source 4a into a stripe pattern, the projection device projecting the stripe pattern onto the printed substrate 2 at a predetermined number of frames per unit of time. The control device 6: sets a total black pattern projection period of one frame, such period being a period in which a predetermined total black pattern can be projected before and after a stripe pattern projection period of a predetermined number of frames; starts the imaging carried out by the camera 5 in the total black pattern projection period which is before the stripe pattern projection period; and ends the imaging carried out by the camera 5 in the total black pattern projection period which is after the stripe pattern projection period.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure tridimensionnelle pouvant empêcher une réduction de la précision de mesure pendant une mesure tridimensionnelle. Un dispositif d'inspection de substrat (1) comprend un dispositif de projection (4) qui projette un motif de bande sur un substrat imprimé (2); une caméra (5) qui capture des images d'une partie du substrat imprimé (2) sur lequel le motif de bande a été projeté; et un dispositif de commande (6) qui effectue divers types de commande dans le dispositif d'inspection de substrat (1). Le dispositif de projection (4) comprend une source de lumière (4a) qui émet une lumière prédéterminée et une matrice DMD (4b) qui convertit la lumière provenant de la source de lumière (4a) en un motif de bande, le dispositif de projection projetant le motif de bande sur le substrat imprimé (2) à un nombre prédéterminé de trames par unité de temps. Le dispositif de commande (6) définit une période de projection de motif noir total d'une trame, cette période étant une période dans laquelle un motif noir total prédéterminé peut être projeté avant et après une période de projection de motif de bande d'un nombre prédéterminé de trames; démarre la prise d'images effectuée par la caméra (5) dans la période de projection de motif noir total qui se situe avant la période de projection de motif de bande; et met fin à la prise d'images effectuée par la caméra (5) dans la période de projection de motif noir total qui se situe après la période de projection de motif de bande.
(JA) 三次元計測における計測精度の低下抑制を図ることのできる三次元計測装置を提供する。基板検査装置1は、プリント基板2に対し縞パターンを投影する投影装置4と、プリント基板2上の縞パターンの投影された部分を撮像するカメラ5と、基板検査装置1内における各種制御を実施する制御装置6とを備えている。投影装置4は、所定の光を発する光源4aや、該光源4aからの光を縞パターンに変換するDMD4bなどを備え、単位時間あたり所定のフレーム数で縞パターンをプリント基板2に対し投影する。制御装置6は、所定数フレーム分の縞パターン投影期間の前後に所定の全黒パターンを投影可能な1フレーム分の全黒パターン投影期間を設定し、縞パターン投影期間前の全黒パターン投影期間中にカメラ5の撮像処理を開始し、縞パターン投影期間後の全黒パターン投影期間中にカメラ5の撮像処理を終了する。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)