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1. (WO2018158229) PROCÉDÉ DE CORRECTION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLÉCHISSANT POUR LA GAMME DE LONGUEURS D'ONDE ALLANT DE 5 NM A 20 NM
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N° de publication : WO/2018/158229 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/054769
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 27.02.2018
CIB :
G02B 1/12 (2006.01) ,G02B 5/08 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
1
Eléments optiques caractérisés par la substance dont ils sont faits; Revêtements optiques pour éléments optiques
10
Revêtements optiques obtenus par application sur les éléments optiques ou par traitement de la surface de ceux-ci
12
par traitement de la surface, p.ex. par irradiation
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5
Eléments optiques autres que les lentilles
08
Miroirs
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-eber-strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs :
KALDEN, Joachim; DE
Mandataire :
WERNER & TEN BRINK - PATENTANWALTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB; Mendelstr. 1 1 D-48149 Munster, DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 203 246.428.02.2017DE
Titre (EN) METHOD FOR CORRECTING A REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT FOR THE WAVELENGTH RANGE BETWEEN 5 NM AND 20 NM.
(FR) PROCÉDÉ DE CORRECTION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLÉCHISSANT POUR LA GAMME DE LONGUEURS D'ONDE ALLANT DE 5 NM A 20 NM
(DE) VERFAHREN ZUR KORREKTUR EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS FÜR DEN WELLENLÄNGENBEREICH VON 5 NM BIS 20 NM
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for correcting a reflective optical element for the wavelength range between 5 nm and 20 nm, comprising a multilayer system on a substrate, the multilayer system comprising layers consisting of at least two alternately arranged different materials with a different real component of the refractive index for a wavelength in the extreme ultraviolet wavelength range. Said method comprises the following steps: measuring the reflectivity distribution over the surface of the multilayer system; comparing the measured reflectivity distribution with a nominal distribution of the reflectivity over the surface of the multilayer system and determining at least one partial surface having a measured reflectivity above the nominal reflectivity; and irradiating the at least one partial surface with ions or electrons.
(FR) L'invention concerne un procédé de correction d'un élément optique, réfléchissant pour la gamme de longueurs d'onde allant de 5 nm à 20 nm, qui comporte un système multicouche sur un substrat. Le système multicouche comporte des couches constituées d'au moins deux matériaux différents comportant une partie réelle d'indice de réfraction à une longueur d'onde dans la gammes des longueurs d'onde extrêmes ultraviolettes, lesquelles couches sont disposées de façon alternée. Le procédé comprend les étapes de : - mesurer la distribution de réflectivité sur la surface du système multicouche; - comparer la distribution de réflectivité mesurée avec une distribution de consigne de la réflectivité sur la surface du système multicouche et déterminer au moins une partie de surface ayant une réflectivité mesurée supérieure à la réflectivité de consigne; et - irradier la ou les parties de surface avec des ions ou des électrons.
(DE) Es wird ein Verfahren zur Korrektur eines reflektiven optischen Elements für den Wellenlängenbereich von 5 nm bis 20 nm, das auf einem Substrat ein Viellagensystem aufweist, wobei das Viellagensystem Lagen aus mindestens zwei verschiedenen Materialien mit unterschiedlichem Realteil des Brechungsindex bei einer Wellenlänge im extrem ultravioletten Wellenlängenbereich aufweist, die abwechselnd angeordnet sind, vorgeschlagen mit den Schritten: - Vermessen der Reflektivitätsverteilung über die Fläche des Viellagensystems; - Vergleichen der gemessenen Reflektivitätsverteilung mit einer Sollverteilung der Reflektivität über die Fläche des Viellagensystems und Bestimmen von einer oder mehreren Teilflächen, die eine gemessene Reflektivität aufweisen, die über der Sollreflektivität liegt; und - Bestrahlen der einen oder mehreren Teilflächen mit Ionen oder Elektronen.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)