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1. (WO2018158136) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR REPRÉSENTER UNE SURFACE D'ÉCHANTILLON
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N° de publication : WO/2018/158136 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/054401
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 22.02.2018
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 19.09.2018
CIB :
G02B 21/00 (2006.01) ,G01J 3/44 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3
Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
28
Etude du spectre
44
Spectrométrie Raman; Spectrométrie par diffusion
Déposants :
WITEC WISSENSCHAFTLICHE INSTRUMENTE UND TECHNOLOGIE GMBH; Lise-Meitner-Straße 6 89081 Ulm, DE
Inventeurs :
SPIZIG, Peter; DE
HOLLRICHER, Dr. Olaf; DE
IBACH, Wolfram; DE
Mandataire :
DR. SAWODNY, Michael; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 203 492.003.03.2017DE
62/466,69103.03.2017US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR IMAGING A SPECIMEN SURFACE
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR REPRÉSENTER UNE SURFACE D'ÉCHANTILLON
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABBILDUNG EINER PROBENOBERFLÄCHE
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for imaging a surface of a specimen with a topography with the aid of confocal microscopy, in particular confocal Raman and/or fluorescence microscopy, in which a device, in particular a first light source, preferably a first laser light source, used for producing excitation radiation for Raman scattered light and/or fluorescence and a second device, in particular a second light source, preferably a second laser light source or superluminescent diode (SLED) with a focal position that is controllable independently of the first light source are provided. The invention is characterized in that – the first light source emits light in a first wavelength range; – the second light source emits light in a second wavelength range; wherein the first and the second wavelength range of the first and second light source do not overlap and – a focal plane of the second light source is brought by means of the separately controllable focal position into/onto the surface of the specimen in such a way that – with the aid of a signal of the focal position of the second light source, the topography of the specimen is established and/or the specimen is brought into a focal plane of the first light source on account of this signal.
(FR) L'invention concerne un procédé servant à représenter une surface d'un échantillon avec une topographie à l'aide d'une microscopie confocale, en particulier d'une microscopie Raman et/ou de fluorescence confocale. L'invention prévoit dans ledit procédé un dispositif utilisé pour générer un rayonnement d'excitation pour la lumière de diffusion à effet Raman et/ou la fluorescence, en particulier une première source de lumière, de manière préférée une première source de lumière laser, et un deuxième dispositif, en particulier une deuxième source de lumière, de manière préférée une deuxième source de lumière laser ou une diode super-luminescente (SLED) présentant une position focale pouvant être commandée indépendamment de la première source de lumière. L'invention est caractérisée en ce que - la première source de lumière émet une lumière dans une première plage de longueurs d'onde, - la deuxième source de lumière émet une lumière dans une deuxième plage de longueurs d'onde; la première et la deuxième plage de longueurs d'onde de la première et de la deuxième source de lumière ne se superposant pas, - et qu'un plan focal de la deuxième source de lumière est amené dans/sur la surface de l'échantillon au moyen de la position focale pouvant être commandée séparément de telle manière que la topographie de l'échantillon est déterminée au moyen d'un signal de la position focale de la deuxième source de lumière et/ou que l'échantillon est amené du fait dudit signal dans un plan focal de la première source de lumière.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abbildung einer Oberfläche einer Probe mit einer Topographie mit Hilfe konfokaler Mikroskopie, insbesondere konfokaler Raman-und/oder Fluoreszenzmikroskopie, bei dem eine zur Erzeugung von Anregungsstrahlung für Ramanstreulicht und/oder Fluoreszenz verwendete Einrichtung, insbesondere eine erste Lichtquelle, bevorzugt eine erste Laserlichtquelle und eine zweite Einrichtung, insbesondere eine zweite Lichtquelle, bevorzugt eine zweite Laserlichtquelle oder Super-Lumineszenz- Diode (SLED) mit einer unabhängig von der ersten Lichtquelle steuerbaren Fokuslage vorgesehen ist. Die Erfindung istdadurch gekennzeichnet, dass -die erste Lichtquelle Licht in einem ersten Wellenlängenbereich emittiert; -die zweite Lichtquelle Licht in einem zweiten Wellenlängenbereich emittiert; wobei der erste und der zweite Wellenlängenbereich der ersten und zweiten Lichtquelle sich nicht überlappen und -eine Fokusebene der zweiten Lichtquelle mittels der separat steuerbaren Fokuslage in/auf die Oberfläche der Probe gebracht wird, derart dass -mit Hilfe eines Signals der Fokuslage der zweiten Lichtquelle die Topographie der Probe ermittelt und/oder die Probe aufgrund dieses Signales in eine Fokusebene der ersten Lichtquelle verbracht wird.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)