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1. (WO2018158013) UNITÉ D’ÉLECTRODES AYANT UN RÉSEAU ÉLECTRIQUE INTERNE POUR L’ALIMENTATION EN TENSION À HAUTE FRÉQUENCE ET ENSEMBLE SUPPORT POUR INSTALLATION DE TRAITEMENT AU PLASMA
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N° de publication : WO/2018/158013 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/051874
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 25.01.2018
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32
Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
Déposants : MEYER BURGER (GERMANY) AG[DE/DE]; An der Baumschule 6-8 09337 Hohenstein-Ernstthal, DE
Inventeurs : SCHLEMM, Hermann; DE
KEHR, Mirko; DE
ANSORGE, Erik; DE
Mandataire : KAILUWEIT & UHLEMANN PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFT MBB; Bamberger Straße 49 01187 Dresden, DE
Données relatives à la priorité :
17158448.528.02.2017EP
Titre (EN) ELECTRODE UNIT HAVING AN INTERNAL ELECTRICAL NETWORK FOR SUPPLYING HIGH-FREQUENCY VOLTAGE, AND CARRIER ARRANGEMENT FOR A PLASMA TREATMENT SYSTEM
(FR) UNITÉ D’ÉLECTRODES AYANT UN RÉSEAU ÉLECTRIQUE INTERNE POUR L’ALIMENTATION EN TENSION À HAUTE FRÉQUENCE ET ENSEMBLE SUPPORT POUR INSTALLATION DE TRAITEMENT AU PLASMA
(DE) ELEKTRODENEINHEIT MIT EINEM INTERNEN ELEKTRISCHEN NETZWERK ZUR ZUFÜHRUNG VON HOCHFREQUENTER SPANNUNG UND TRÄGERANORDNUNG FÜR EINE PLASMABEHANDLUNGSANLAGE
Abrégé :
(EN) The invention relates to an electrode unit, comprising: a plurality of plasma electrode pairs, which at a specific applied voltage are suited for igniting a plasma between a first plasma electrode and a second plasma electrode of each plasma electrode pair; at least one internal electrical supply network that is suited to supply a first voltage to all first plasma electrodes, and to supply a second voltage to all second plasma electrodes, at least one of the voltages being high frequency; and a first and a second connecting terminal suited to feed the first voltage, or the second voltage, into the at least one supply network. The internal electrical supply network has a plurality of lines, wherein by way of arrangement, the geometric dimensions and/or the material of the lines, and/or the arrangement of a feed point of the first voltage, or the second voltage within the supply network, the supply network is adapted to the electrode unit and the frequency of the first and/or the second voltage.
(FR) L’invention concerne une unité d’électrodes comportant une pluralité de paires d’électrodes à plasma qui sont appropriées pour déclencher un plasma entre une première électrode à plasma et une deuxième électrode à plasma de chaque paire d’électrodes à plasma à une tension appliquée particulière, au moins un réseau d’alimentation électrique interne appropriée pour appliquer une première tension à tous les premières électrodes à plasma et une deuxième tension à toutes les deuxièmes électrodes à plasma, au moins une des tensions étant à haute fréquence, et une première et une deuxième borne de connexion, lesquelles sont appropriées pour injecter les première et deuxième tensions dans l’au moins un réseau d’alimentation. Le réseau d’alimentation électrique interne comprend une pluralité de lignes. Le réseau d’alimentation est adapté à l’unité d’électrodes et à la fréquence de la première et/ou deuxième tension par l’agencement, les dimensions géométriques et/ou le matériau des lignes et/ou par l’agencement d’un point d’injection de la première ou de la deuxième tension.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Elektrodeneinheit mit einer Vielzahl von Plasmaelektrodenpaaren, die bei einer bestimmten anliegenden Spannung zum Zünden eines Plasmas zwischen einer ersten Plasmaelektrode und einer zweiten Plasmaelektrode eines jeden Plasmaelektrodenpaares geeignet sind, mindestens einem internen elektrischen Zuführungsnetzwerk, das geeignet ist, eine erste Spannung allen ersten Plasmaelektroden und eine zweite Spannung allen zweiten Plasmaelektroden zuzuführen, wobei mindestens eine der Spannungen hochfrequent ist, und einer ersten und einer zweiten Anschlussklemme, die geeignet sind, die erste bzw. die zweite Spannung in das mindestens eine Zuführungsnetzwerk einzuspeisen. Das interne elektrische Zuführungsnetzwerk enthält eine Vielzahl von Leitungen, wobei das Zuführungsnetzwerk durch die Anordnung, die geometrischen Abmessungen und/oder das Material der Leitungen und/oder durch die Anordnung eines Einspeispunktes der ersten bzw. zweiten Spannung innerhalb des Zuführungsnetzwerkes an die Elektrodeneinheit und die Frequenz der ersten und/oder der zweiten Spannung angepasst ist.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)