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1. (WO2018157718) MÉCANISME SERVANT À TESTER UN ARTICLE SEMI-CONDUCTEUR À L'AIDE D'UN PORTEUR DE CHARGE ÉLECTROSTATIQUE
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N° de publication : WO/2018/157718 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/075792
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 08.02.2018
CIB :
G01R 31/26 (2014.01) ,G01R 31/00 (2006.01) ,H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/673 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26
Essai de dispositifs individuels à semi-conducteurs
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
Déposants :
叶秀慧 YEH, Hsiu Hui [CN/CN]; CN
Inventeurs :
叶秀慧 YEH, Hsiu Hui; CN
Mandataire :
北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) BEIJING HC-IP AGENCY CO., LTD. (GENERAL PARTNERSHIP); 中国北京市 海淀区大柳树路17号富海国际港902 902 Fortune International Center No.17 Daliushu Road, Haidian District Beijing 100081, CN
Données relatives à la priorité :
201710120079.502.03.2017CN
Titre (EN) MECHANISM FOR TESTING SEMICONDUCTOR ARTICLE USING ELECTROSTATIC CARRIER
(FR) MÉCANISME SERVANT À TESTER UN ARTICLE SEMI-CONDUCTEUR À L'AIDE D'UN PORTEUR DE CHARGE ÉLECTROSTATIQUE
(ZH) 应用静电载具测试半导体制品的机构
Abrégé :
(EN) Disclosed is a mechanism for testing a semiconductor article using an electrostatic carrier, which is a mechanism using an electrostatic carrier having a semiconductor article carried thereon to directly carry out the testing. The mechanism comprises: a movable carrier plate (20), configured to have at least one electrostatic circuit (30) for applying static electricity so that the movable carrier plate (20) attracts the carried semiconductor article; a movable testing probe group (60), which comprises a probe mechanism (61) comprising a probe (611) or a plurality of probes (611); a manipulator arm (62) for driving the probe mechanism (61) to a desired test point, and connecting the probe (611) to a circuit contact of the semiconductor article for performing a test action; a control mechanism (63) connected to the manipulator arm (62), the control mechanism (63) comprising a control circuit (631) for controlling the movement of the manipulator arm (62), and a testing circuit (632), wherein the testing circuit (632) collects desired data by means of the probe (611); and a computer (64) connected to the control mechanism (63) for collecting the test data from the testing circuit (632).
(FR) L'invention concerne un mécanisme servant à tester un article semi-conducteur à l'aide d'un porteur de charge électrostatique, qui est un mécanisme utilisant un porteur de charge électrostatique sur lequel un article semi-conducteur est monté pour effectuer directement le test. Le mécanisme comprend : une plaque de porteur de charge mobile (20), configurée pour avoir au moins un circuit électrostatique (30) servant à appliquer de l'électricité statique de telle sorte que la plaque de porteur de charge mobile (20) attire l'article semi-conducteur monté ; un groupe de sondes de test mobile (60), qui comprend un mécanisme de sonde (61) comprenant une sonde (611) ou une pluralité de sondes (611) ; un bras manipulateur (62) servant à conduire le mécanisme de sonde (61) à un point de test souhaité, et à relier la sonde (611) à un contact de circuit de l'article semi-conducteur afin d'effectuer une action de test ; un mécanisme de commande (63) connecté au bras manipulateur (62), le mécanisme de commande (63) comprenant un circuit de commande (631) servant à commander le mouvement du bras manipulateur (62), et un circuit de test (632), le circuit de test (632) collectant des données souhaitées au moyen de la sonde (611) ; et un ordinateur (64) connecté au mécanisme de commande (63) servant à collecter les données de test à partir du circuit de test (632).
(ZH) 一种应用静电载具测试半导体制品的机构,为应用一承载半导体制品的静电载具,直接进行测试的机构,该机构包括:一移动式载板(20),配置至少一静电电路(30),以应用静电而使得移动式载板(20)吸附所承载的半导体制品;一移动式测试探针组(60),包括:一探针机构(61),包括一个探针(611)或多个探针(611);一机械手臂(62),用以驱动探针机构(61)到所需要的测试点,并使得探针(611)与半导体制品上的电路接点相连接以进行测试动作;一控制机构(63),连接机械手臂(62),控制机构(63)包括控制电路(631)用于控制机械手臂(62)的移动,及测试电路(632),测试电路(632)通过探针(611)采集所需要的数据;一计算机(64),连接控制机构(63),用以采集测试电路(632)的测试数据。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)