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1. (WO2018157614) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ÉPAISSEUR DE FILM
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N° de publication : WO/2018/157614 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/108087
Date de publication : 07.09.2018 Date de dépôt international : 27.10.2017
CIB :
G01B 7/06 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
7
Dispositions de mesure caractérisées par l'utilisation de moyens électriques ou magnétiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
Déposants :
威海华菱光电股份有限公司 WEIHAI HUALING OPTO-ELECTRONICS CO.,LTD. [CN/CN]; 中国山东省威海市 火炬高技术产业开发区科技路179号 No.179, KeJi Road, Hi-Tech IDZ Weihai, Shandong 264209, CN
Inventeurs :
姜利 JIANG, Li; CN
林永辉 LIN, Yonghui; CN
祁秀梅 QI, Xiumei; CN
孙明丰 SUN, Mingfeng; CN
Mandataire :
北京康信知识产权代理有限责任公司 KANGXIN PARTNERS,P.C.; 中国北京市 海淀区知春路甲48号盈都大厦A座16层 Floor 16,Tower A, Indo Building A48 Zhichun Road, Haidian District Beijing 100098, CN
Données relatives à la priorité :
201710115068.828.02.2017CN
Titre (EN) FILM THICKNESS DETECTION DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ÉPAISSEUR DE FILM
(ZH) 膜厚检测装置及方法
Abrégé :
(EN) A film thickness detection device and method. The device comprises: a common electrode (13), a detection electrode (23), a common electrode voltage generation circuit (17) and a detection electrode signal processing circuit (27). A detection channel for a film to be detected is formed between a first common surface and a first detection surface, wherein the common electrode voltage generation circuit (17) is used for generating a voltage on the common electrode (13) so that an effective signal voltage is induced on the detection electrode (23); the detection electrode signal processing circuit (27) comprises: a reset voltage sequence control circuit, a detection electrode effective signal voltage transmission sequence control circuit and a differential amplifier, wherein the reset voltage sequence control circuit is used for controlling the detection electrode (23) to perform voltage resetting; the detection electrode effective signal voltage transmission sequence control circuit is used for transmitting the effective signal voltage on the detection electrode (23); and the differential amplifier is used for performing differential amplification on the reset voltage and the effective signal voltage on the detection electrode (13) and then outputting an effective signal (SIG) used for detecting the film to be detected.
(FR) La présente invention concerne un dispositif et un procédé de détection d'épaisseur de film. Le dispositif comprend: une électrode de référence (13), une électrode de détection (23), un circuit de génération de tension d'électrode de référence (17) et un circuit de traitement de signal d'électrode de détection (27). Un canal de détection pour un film à détecter est formé entre une première surface commune et une première surface de détection, le circuit de génération de tension d'électrode de référence (17) est utilisé pour générer une tension sur l'électrode de référence (13) de façon qu'une tension de signal efficace soit induite sur l'électrode de détection (23); le circuit de traitement de signal d'électrode de détection (27) comprend: un circuit de commande de séquence de tension de réinitialisation, un circuit de commande de séquence de transmission de tension de signal efficace d'électrode de détection et un amplificateur différentiel, le circuit de commande de séquence de tension de réinitialisation étant utilisé pour commander l'électrode de détection (23) afin d'effectuer une réinitialisation de la tension; le circuit de commande de séquence de transmission de tension de signal efficace d'électrode de détection est utilisé pour transmettre la tension de signal efficace à l'électrode de détection (23); et l'amplificateur différentiel est utilisé pour effectuer une amplification différentielle sur la tension de réinitialisation et la tension de signal efficace sur l'électrode de détection (13), puis délivrer en sortie un signal efficace (SIG) utilisé pour détecter le film à détecter.
(ZH) 一种膜厚检测装置及方法。其中,该装置包括:公共电极(13),检测电极(23),公共电极电压产生电路(17),检测电极信号处理电路(27),第一公共面与第一检测表面之间形成待测膜的检测通道,其中,公共电极电压产生电路(17),用于在公共电极(13)上产生电压,使得检测电极(23)上感应出有效信号电压;检测电极信号处理电路(27)包括:复位电压时序控制电路,检测电极有效信号电压转送时序控制电路和差分放大器,其中,复位电压时序控制电路,用于控制检测电极(23)进行电压复位;检测电极有效信号电压转送时序控制电路,用于转送检测电极(23)上的有效信号电压;差分放大器,用于对检测电极(13)上的复位电压和有效信号电压进行差分放大后输出用于检测待测膜的有效信号(SIG)。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)