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1. (WO2018146887) DISPOSITIF DE VÉRIFICATION D'ASPECT EXTERNE
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N° de publication : WO/2018/146887 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/041061
Date de publication : 16.08.2018 Date de dépôt international : 15.11.2017
CIB :
G01N 21/956 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956
Inspection de motifs sur la surface d'objets
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
東レエンジニアリング株式会社 TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都中央区八重洲1丁目3番22号(八重洲龍名館ビル) Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028, JP
Inventeurs :
大▲美▼ 英一 OHMI, Hidekazu; JP
稲生 翔太 INAO, Shota; JP
Données relatives à la priorité :
2017-02282210.02.2017JP
Titre (EN) EXTERNAL-APPEARANCE EXAMINATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE VÉRIFICATION D'ASPECT EXTERNE
(JA) 外観検査装置
Abrégé :
(EN) Provided is an external-appearance examination device that can shorten the time required for examination in a state where a plurality of element chips having mutually different patterns are mixed together. Specifically, an external-appearance examination device 100 comprises: an image capture unit 40 that captures images of examination-target element chips 210; a storage unit 50 in which are pre-stored good-product images P serving as an examination reference for the element chips 210 having mutually different patterns A-D; and an examination unit 61 that identifies the type of the patterns A-D of the examination-target element chips 210 captured by the image capture unit 40, and that determines whether the examination-target element chips 210 are good products or not by comparing: the images of the examination-target element chips 210 captured by the image capture unit 40; and the good-product images P which correspond to the identified patterns of the examination-target element chips 210.
(FR) L'invention concerne un dispositif de vérification d'aspect externe qui peut raccourcir le temps nécessaire à la vérification quand une pluralité de puces à éléments ayant des motifs mutuellement différents sont mélangées. Plus spécifiquement, le dispositif de vérification d'aspect externe 100 comprend : une unité de capture d'images 40 qui capture des images de puces à éléments cibles soumises à vérification 210 ; une unité de stockage 50 dans laquelle sont pré-stockées des images de bons produits P servant de référence de vérification pour les puces à éléments 210 ayant des motifs A-D mutuellement différents ; et une unité de vérification qui identifie le type des motifs A-D des puces à éléments cibles soumises à vérification capturées par l'unité de capture d'images, et qui détermine si les puces à éléments cibles soumises à vérification sont de bons produits ou non par comparaison : des images des puces à éléments cibles soumises à vérification 210 capturées par l'unité de capture d'images 40 ; et des images de bons produits P qui correspondent aux motifs identifiés des puces à éléments cibles soumises à vérification 210.
(JA) 互いに異なるパターンを有する複数の素子チップが混在した状態において、検査に要する時間を短縮することが可能な外観検査装置を提供する。 具体的には、この外観検査装置100は、検査対象の素子チップ210を撮像する撮像部40と、互いに異なるパターンA~Dの素子チップ210の検査基準となる良品画像Pが予め記憶された記憶部50と、撮像部40によって撮像された検査対象の素子チップ210のパターンA~Dの種類を識別するとともに、撮像部40によって撮像された検査対象の素子チップ210の画像と、識別された検査対象の素子チップ210のパターンに対応する良品画像Pとを比較することにより、検査対象の素子チップ210が良品か否かの判別を行う検査部61とを備える。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)