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1. (WO2018146804) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
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N° de publication : WO/2018/146804 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/005032
Date de publication : 16.08.2018 Date de dépôt international : 13.02.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 30.07.2018
CIB :
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/20 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
22
Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
20
Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
Déposants :
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventeurs :
吉原 真衣 YOSHIHARA Mai; JP
大南 祐介 OOMINAMI Yuusuke; JP
Mandataire :
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abrégé :
(EN) The purpose of the invention is to provide a device with which the same field of view is observed with a charged particle beam device and a camera, without increasing the size of a housing. A charged particle beam device according to an embodiment of the invention comprises: a lens barrel (2) that irradiates a sample (7) with a charged particle beam; an image-capturing unit (43) that captures an optical image of the sample; a sample mount (30) on which the sample is mounted; and a movable stage (6) on which the sample mount is mounted. When a first distance is defined as a distance between a physical central axis of the sample mount and a physical optical axis of the image-capturing unit and a second distance is defined as a distance between a virtual central axis of the sample mount and a physical central axis of the image-capturing unit or between the physical central axis of the sample mount and a virtual central axis of the image-capturing unit or between the virtual central axis of the sample mount and the virtual central axis of the image-capturing unit, the second distance is shorter than the first distance.
(FR) L'objectif de l'invention est de fournir un dispositif avec lequel le même champ de vision est observé avec un dispositif à faisceau de particules chargées et une caméra, sans augmenter la taille d'un boîtier. Un dispositif à faisceau de particules chargées selon un mode de réalisation de l'invention comprend : un barillet de lentille (2) qui irradie un échantillon (7) avec un faisceau de particules chargées ; une unité de capture d'image (43) qui capture une image optique de l'échantillon ; un support d'échantillon (30) sur lequel l'échantillon est monté ; et un plateau mobile (6) sur lequel est monté le support d'échantillon. Lorsqu'une première distance est définie comme une distance entre un axe central physique du support d'échantillon et un axe optique physique de l'unité de capture d'image et lorsqu'une seconde distance est définie comme une distance entre un axe central virtuel du support d'échantillon et un axe central physique de l'unité de capture d'image ou entre l'axe central physique du support d'échantillon et un axe central virtuel de l'unité de capture d'image ou entre l'axe central virtuel du support d'échantillon et l'axe central virtuel de l'unité de capture d'image, la seconde distance est plus courte que la première distance.
(JA) 本発明の目的は、筐体サイズを大型化せずに荷電粒子線装置とカメラで同一視野を観察する装置を提供することにある。本発明の一態様の荷電粒子線装置は、荷電粒子線を試料(7)に照射する鏡筒(2)と、試料の光学像を撮像する撮像部(43)と、試料を載置する試料台(30)と、試料台を載置し、移動可能なステージ(6)と、を備え、 試料台の物理的な中心軸と撮像部の物理的な光軸との間の距離を第1の距離と、試料台の仮想的な中心軸と撮像部の物理的な中心軸、又は、試料台の物理的な中心軸と撮像部の仮想的な中心軸、又は、試料台の仮想的な中心軸と撮像部の仮想的な中心軸、との間の距離を第2の距離と定義すると、第2の距離は第1の距離よりも短くなるように構成される。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)