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1. (WO2018146681) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DESTINÉS À ÊTRE UTILISÉS DANS UNE ELLIPSOMÉTRIE À HAUTE RÉSOLUTION SPATIALE
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N° de publication : WO/2018/146681 N° de la demande internationale : PCT/IL2018/050147
Date de publication : 16.08.2018 Date de dépôt international : 08.02.2018
CIB :
G01N 21/21 (2006.01) ,G01N 21/27 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17
Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
21
Propriétés affectant la polarisation
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17
Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
25
Couleur; Propriétés spectrales, c. à d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes
27
en utilisant la détection photo-électrique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
Déposants :
YISSUM RESEARCH DEVELOPMENT COMPANY OF THE HEBREW UNIVERSITY OF JERUSALEM LTD. [IL/IL]; Hi -Tech Park, Givat-Ram P.O. Box 39135 9139002 Jerusalem, IL
Inventeurs :
RAPAPORT, Ronen; IL
KENAZ, Ralfy; IL
Mandataire :
TAUBER, Gilad; Reinhold Cohn And Partners P.O.B. 13239 6113102 Tel-Aviv, IL
Données relatives à la priorité :
62/456,26808.02.2017US
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR USE IN HIGH SPATIAL RESOLUTION ELLIPSOMETRY
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DESTINÉS À ÊTRE UTILISÉS DANS UNE ELLIPSOMÉTRIE À HAUTE RÉSOLUTION SPATIALE
Abrégé :
(EN) System and method for use in optical monitoring of a sample. The system comprising: a light source unit (140) for providing collimated illumination; polarization modulation unit (160) located in optical path of light propagating from the light source unit; a lens unit (120) for focusing light onto an illumination spot on a surface of a sample, and for collection of light components returning from the sample; a light collection unit configured for collecting light returning from the sample and generate output image data associated with Fourier plane imaging with respect to surface of the sample; and a control unit (500) configured processing said data in accordance with said system calibration. The method provides calibration data, and comprising: providing reference data indicative of complex refractive index of the reference samples on at least two reference samples; collecting ellipsometry data for said at least two reference samples using the ellipsometry system, generating output data having a plurality of data pieces, each associated with unknown angular direction; and for each data piece corresponding to an unknown angular direction, determining simultaneously system parameters and angle of incidence in accordance with corresponding parameters of the reference data to thereby determine calibration data.
(FR) La présente invention concerne un système et un procédé destinés à être utilisés dans la surveillance optique d'un échantillon. Le système comprend : une unité source de lumière (140) servant à fournir un éclairage collimaté; une unité de modulation de polarisation (160) située sur le trajet optique de la lumière se propageant depuis l'unité source de lumière; une unité lentille (120) servant à focaliser la lumière sur un point d'éclairage sur une surface d'un échantillon et à collecter des composantes de lumière revenant de l'échantillon; une unité de collecte de lumière conçue pour collecter la lumière revenant de l'échantillon et générer des données d'image de sortie associées à une imagerie de plan de Fourier par rapport à la surface de l'échantillon; et une unité de commande (500) conçue pour traiter lesdites données en fonction dudit étalonnage de système. Le procédé fournit des données d'étalonnage et comprend les étapes consistant à : fournir des données de référence indiquant un indice de réfraction complexe des échantillons de référence sur au moins deux échantillons de référence; à collecter des données d'ellipsométrie pour lesdits au moins deux échantillons de référence à l'aide du système d'ellipsométrie, à générer des données de sortie ayant une pluralité d'éléments de données, chacun associé à une direction angulaire inconnue; et pour chaque élément de données correspondant à une direction angulaire inconnue, à déterminer simultanément des paramètres système et un angle d'incidence conformément à des paramètres correspondants des données de référence pour ainsi déterminer des données d'étalonnage.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)
Demande de signalement aux fins de licence Le déposant a demandé au Bureau international de signaler qu'il est disposé à concéder une(des) licence(s) portant sur l'invention ou les inventions revendiquée(s) dans la présente demande internationale.