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1. (WO2018146370) APPAREIL DE DÉPÔT OU DE NETTOYAGE À STRUCTURE MOBILE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT

Pub. No.:    WO/2018/146370    International Application No.:    PCT/FI2017/050071
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 09 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 16/44
C23C 16/458
Applicants: PICOSUN OY
Inventors: MALINEN, Timo
Title: APPAREIL DE DÉPÔT OU DE NETTOYAGE À STRUCTURE MOBILE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de dépôt ou de nettoyage qui comprend une chambre à vide externe et une chambre de réaction à l'intérieur de la chambre externe formant une structure à double chambre. La chambre de réaction est conçue pour se déplacer entre une position de traitement et une position abaissée à l'intérieur de la chambre à vide externe, la position abaissée permettant de charger un ou plusieurs substrats dans la chambre de réaction.