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1. (WO2018146013) CORPS EN MÉTAL, EN MÉTAL DUR, EN CERMET OU EN CÉRAMIQUE REVÊTUS PAR UN MATÉRIAU DUR AINSI QUE PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION DE TELS CORPS

Pub. No.:    WO/2018/146013    International Application No.:    PCT/EP2018/052635
Publication Date: Fri Aug 17 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 03 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 28/04
C23C 16/30
C23C 16/36
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Inventors: ENDLER, Ingolf
HÖHN, Mandy
Title: CORPS EN MÉTAL, EN MÉTAL DUR, EN CERMET OU EN CÉRAMIQUE REVÊTUS PAR UN MATÉRIAU DUR AINSI QUE PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION DE TELS CORPS
Abstract:
L'invention concerne des corps en métal, en métal dur, en cermet ou en céramique, revêtus par un matériau dur ainsi qu'un procédé pour la fabrication de tels corps. Les couches en matériau dur selon l'invention peuvent par exemple être utilisées comme couche de protection contre l'usure pour des outils de coupe, comme couche de protection pour des pales de turbine ou comme barrière à la diffusion dans la microélectronique. L'invention vise à fournir des couches en matériau dur qui présentent une dureté élevée, une résistance élevée à l'oxydation et une excellente résistance à l'usure. L'invention vise également à fournir un procédé économique pour l'obtention de ces couches en matériau dur. Ce but est atteint par des corps en métal, en métal dur, en cermet ou en céramique, revêtus par un matériau dur et un procédé pour la fabrication de ces corps, qui sont revêtus, au moyen d'un procédé thermique de dépôt chimique en phase vapeur sans excitation par un plasma, par un système stratifié à une ou plusieurs couches, le système stratifié à une ou plusieurs couches présentant au moins une couche de nanocomposite, présentant une première phase nanocristalline en oxycarbonitrure de titane cubique et une deuxième phase amorphe en oxycarbonitrure de silicium ou en oxycarbure de silicium.