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1. (WO2018144958) INSPECTION ET MÉTROLOGIE PAR RAYONNEMENT INFRAROUGE À LARGE BANDE
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N° de publication : WO/2018/144958 N° de la demande internationale : PCT/US2018/016760
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 03.02.2018
CIB :
G01N 21/3563 (2014.01) ,G01N 21/95 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 21/3563]
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
CHUANG, Yung-Ho Alex; US
ESFANDYARPOUR, Vahid; US
FIELDEN, John; US
ZHANG, Baigang; US
XIAOLI, Yinying; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Données relatives à la priorité :
15/794,88726.10.2017US
62/454,80505.02.2017US
Titre (EN) INSPECTION AND METROLOGY USING BROADBAND INFRARED RADIATION
(FR) INSPECTION ET MÉTROLOGIE PAR RAYONNEMENT INFRAROUGE À LARGE BANDE
Abrégé :
(EN) Systems and methods for measuring or inspecting semiconductor structures using broadband infrared radiation are disclosed. The system may include an illumination source comprising a pump source configured to generate pump light and a nonlinear optical (NLO) assembly configured to generate broadband IR radiation in response to the pump light. The system may also include a detector assembly and a set of optics configured to direct the IR radiation onto a sample and direct a portion of the IR radiation reflected and/or scattered from the sample to the detector assembly.
(FR) L’invention concerne des systèmes et des procédés de mesure ou d’inspection de structures semi-conductrices par un rayonnement infrarouge à large bande. Le système peut inclure une source d’éclairage comprenant une source de pompe servant à générer de la lumière de pompage et un ensemble optique non linéaire (NLO) servant à générer un rayonnement IR à large bande en réponse à la lumière de pompage. Le système peut également inclure un ensemble détecteur et un groupe d’optiques servant à diriger le rayonnement infrarouge sur un échantillon et à diriger une partie du rayonnement infrarouge réfléchi et/ou dispersé par l’échantillon vers l’ensemble détecteur.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)