Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018144947) SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE À COLONNES MULTIPLES

Pub. No.:    WO/2018/144947    International Application No.:    PCT/US2018/016742
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Feb 03 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/28
H01J 37/08
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: HAYNES, Robert
WELK, Aron
NASSER-GHODSI, Mehran
GERLING, John
PLETTNER, Tomas
Title: SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE À COLONNES MULTIPLES
Abstract:
L'invention concerne un système de microscopie électronique à balayage (MEB) à colonnes multiples comprenant un ensemble de colonnes, l'ensemble de colonnes comprenant un premier ensemble formant un réseau de substrats et au moins un second ensemble formant un réseau de substrats. Le système comprend également un ensemble source, l'ensemble source comprenant au moins deux sources d'éclairage conçues afin de générer au moins deux faisceaux d'électrons et au moins deux ensembles d'une pluralité de positionneurs conçus afin de régler une position d'une source particulière d'éclairage parmi lesdites deux sources d'éclairage dans une pluralité de directions. Le système comprend également un étage conçu pour fixer un échantillon, l'ensemble de colonnes dirigeant au moins une partie des au moins deux faisceaux d'électrons sur une partie de l'échantillon.