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1. (WO2018144772) PERFORMANCE DE DÉTECTION DE PRESSION AMÉLIORÉE POUR CAPTEURS DE PRESSION

Pub. No.:    WO/2018/144772    International Application No.:    PCT/US2018/016506
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Feb 02 00:59:59 CET 2018
IPC: G01L 1/14
G01G 3/00
G01G 3/12
G01G 3/14
G01G 3/15
G01G 7/06
H01L 29/84
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Inventors: DUAN, Xiangfeng
HUANG, Yu
HUANG, Yun-Chiao
Title: PERFORMANCE DE DÉTECTION DE PRESSION AMÉLIORÉE POUR CAPTEURS DE PRESSION
Abstract:
Un capteur de pression comprend : (1) une première couche d'électrode; (2) une seconde couche d'électrode comprenant de multiples microstructures conductrices s'étendant vers la première couche d'électrode; et (3) une couche diélectrique entre la première couche d'électrode et la seconde couche d'électrode.