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1. (WO2018144154) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ALIGNEMENT DE TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/144154    International Application No.:    PCT/US2017/067496
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 21 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/02
H01L 21/68
Applicants: ILLUMINA, INC.
Inventors: MAINS, Peter
PRABHU, Anmiv S.
CAPELLA, Richard
SAMIEE, Kevan
Title: PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ALIGNEMENT DE TRANCHE
Abstract:
Des tranches sont alignées les unes avec les autres par référence à des éléments formés sur ou dans chaque tranche. Des encoches sont formées dans chaque tranche, comprenant une encoche de pivot qui permet un contact à deux points, et une encoche d'arrêt qui permet un contact à un seul point. Une encoche de sollicitation est formée pour presser les tranches en prise avec l'élément à deux contacts lorsqu'elles sont dans l'encoche de pivot et avec l'élément à contact unique lorsqu'elles sont dans l'encoche d'arrêt. Les tranches peuvent être liées les unes aux autres pour maintenir l'alignement des éléments référencés.