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1. (WO2018144107) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'ÉVAPORATION CONTINUE AYANT DES SUBSTRATS CÔTE À CÔTE

Pub. No.:    WO/2018/144107    International Application No.:    PCT/US2017/063304
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Nov 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 51/56
H01L 51/00
H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: KURITA, Shinichi
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ D'ÉVAPORATION CONTINUE AYANT DES SUBSTRATS CÔTE À CÔTE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de dépôt permettant de déposer un matériau source évaporé sur au moins deux substrats. L'appareil de dépôt comprend une chambre à vide, un ensemble support de substrat fournissant une première zone de dépôt pour un premier substrat des au moins deux substrats et une seconde zone de dépôt pour un second substrat des au moins deux substrats, et la première zone de dépôt et la seconde zone de dépôt étant disposées côte à côte, et un ensemble source de dépôt pour évaporer un matériau source configuré pour se déplacer le long d'une première direction pour déposer séquentiellement au niveau de la première zone de dépôt et de la seconde zone de dépôt et le long d'une seconde direction opposée à la première direction pour déposer séquentiellement au niveau de la seconde zone de dépôt et de la première zone de dépôt.