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1. (WO2018143839) PROCÉDÉ D’AMENÉE DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DESTINÉ À LA CROISSANCE DE STRUCTURES ÉPITAXIALES SUR LA BASE DE NITRURES DE MÉTAUX DU III GROUPE ET DISPOSITIF POUR SA MISE EN ŒUVRE

Pub. No.:    WO/2018/143839    International Application No.:    PCT/RU2018/000012
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 18 00:59:59 CET 2018
IPC: C30B 25/14
C30B 25/16
C30B 25/22
C30B 35/00
C30B 29/38
C30B 29/40
C23C 16/455
C23C 16/52
C23C 16/34
B01F 3/02
B01F 5/02
B01F 15/06
Applicants: LUNDIN, Vsevolod Vladimirovich
ЛУНДИН, Всеволод Владимирович
MONOLUM LTD
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "МОНОЛЮМ"
SOFT-IMPACT LTD
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СОФТ-ИМПАКТ"
TSATSULNIKOV, Andrey Fedorovich
ЦАЦУЛЬНИКОВ, Андрей Федорович
Inventors: LUNDIN, Vsevolod Vladimirovich
ЛУНДИН, Всеволод Владимирович
TSATSULNIKOV, Andrey Fedorovich
ЦАЦУЛЬНИКОВ, Андрей Федорович
ZAVARIN, Evgenii Evgen'evich
ЗАВАРИН, Евгений Евгеньевич
IAKOVLEV, Evgenii Vladimirovich
ЯКОВЛЕВ, Евгений Владимирович
BAZAREVSKII, Denis Stanislavovich
БАЗАРЕВСКИЙ, Денис Станиславович
TALALAEV, Roman Aleksandrovich
ТАЛАЛАЕВ, Роман Александрович
Title: PROCÉDÉ D’AMENÉE DE GAZ DANS UN RÉACTEUR DESTINÉ À LA CROISSANCE DE STRUCTURES ÉPITAXIALES SUR LA BASE DE NITRURES DE MÉTAUX DU III GROUPE ET DISPOSITIF POUR SA MISE EN ŒUVRE
Abstract:
L’invention concerne des procédés d’application chimique de revêtements par voie de décomposition de corps composé gazeux et notamment des procédés d’injection de gaz dans une chambre de réaction. L’invention concerne des moyens d’amenée de gaz dans une chambre de réaction qui prévoient la régulation des flux de gaz aptes à la réaction et assure la possibilité d’obtenir des structures épitaxiales à couches multiples possédant des paramètres voulus sur la base des nitrures de métaux du III groupe et, simultanément, une productivité et une rentabilité plus élevées du processus de leur croissance épitaxiale. Avant d’être injectés dans le réacteur, tous les flux de gaz sont dirigés dans la chambre de mélange raccordée au réacteur puis injectés dans le réacteur via un formateur de flux dans des conditions de flux laminaire. La chambre de mélange et le formateur de flux sont munis de moyens de mise en température. Grâce à ces solutions on injecte dans le réacteur un mélange gazeux avec des paramètres prédéterminés et on empêche en même temps la formation de tourbillons. La taille maximale admissible de la chambre de mélange est sélectionnée en tenant compte des paramètres du processus et de la pente désirée des hétérojonctions.