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1. (WO2018143795) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT PLAN

Pub. No.:    WO/2018/143795    International Application No.:    PCT/NL2018/050058
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 30 00:59:59 CET 2018
IPC: H02K 41/03
Applicants: C.C.M. Beheer B.V.
Inventors: BELTMAN, Arend-Jan Johan
Title: DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT PLAN
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de positionnement plan ayant trois degrés de liberté (X, Y, Rz) comprenant une base statique ayant une surface de support plate et un plateau mobile. Le plateau est mobile sur la surface de support dans un plan XY. Le plateau mobile comprend des paliers à air et est supporté sans contact par la surface de support par l'intermédiaire desdits paliers à air. Le dispositif comprend un moteur linéaire agissant dans la direction X et un moteur linéaire agissant dans la direction Y, et au moins un moteur linéaire supplémentaire agissant dans la direction X ou dans la direction Y. Chacun des moteurs linéaires comprend un ensemble aimant disposé sur le plateau mobile et un ensemble bobine disposé sur la base. La base comprend une piste de curseur s'étendant dans la direction X et une piste de curseur s'étendant dans la direction Y. L'ensemble bobine du ou des moteur(s) linéaire(s) agissant dans la direction X est disposé sur un coulisseau qui est mobile le long de la glissière s'étendant dans la direction Y et est couplé au plateau dans la direction Y. L'ensemble bobine du ou des moteur(s) linéaire(s) agissant dans la direction Y est disposé sur un coulisseau qui est mobile le long de la glissière s'étendant dans la direction X et est couplé au plateau dans la direction X. Les curseurs ont chacun un actionneur à réluctance disposé dessus, lequel actionneur à réluctance est conçu et disposé pour coopérer avec le matériau (ferro)magnétique sur le plateau mobile de telle sorte que le curseur suive le mouvement du plateau.