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1. (WO2018143611) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE DE GRANDE SURFACE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE COMPRENANT UN FILM MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE AINSI FABRIQUÉ

Pub. No.:    WO/2018/143611    International Application No.:    PCT/KR2018/001166
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 27 00:59:59 CET 2018
IPC: B05D 7/24
B05D 3/02
C23C 18/12
C23C 18/04
B05D 3/14
H01L 45/00
Applicants: POSTECH ACADEMY-INDUSTRY FOUNDATION
포항공과대학교 산학협력단
Inventors: JEONG, Unyong
정운룡
GIRI, Anupam
기리아누팜
YANG, Heeseung
양희승
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE DE GRANDE SURFACE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE COMPRENANT UN FILM MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE AINSI FABRIQUÉ
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un film mince de chalcogénure métallique de grande surface et un dispositif comprenant le film mince de chalcogénure métallique de grande surface ainsi fabriqué, le procédé comprenant les étapes consistant à : préparer une solution de précurseur de polymère ; revêtir un substrat avec la solution de précurseur de polymère ; et traiter thermiquement le substrat revêtu de la solution de précurseur de polymère. Un film mince de chalcogénure métallique de grande surface et de grande qualité ayant une épaisseur et une composition uniformes peut être fabriqué à faible coût selon le procédé de fabrication de la présente invention.