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1. (WO2018143506) MANNEQUIN ANTHROPOMORPHE DE MESURE DE POSITION DE TRANSFERT UTILISÉ DANS UN CHAMP DE SYSTÈME DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'AFFICHAGE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TRANSFERT PRÉCIS UTILISANT UN MANNEQUIN ANTHROPOMORPHE DE MESURE DE POSITION DE TRANSFERT UTILISÉ DANS UN CHAMP DE SYSTÈME DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'AFFICHAGE
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N° de publication : WO/2018/143506 N° de la demande internationale : PCT/KR2017/002240
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 02.03.2017
CIB :
H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01) ,G01R 31/26 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68
pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26
Essai de dispositifs individuels à semi-conducteurs
Déposants :
주식회사 투윈테크 2WINTEK INC. [KR/KR]; 경기도 화성시 동탄면 동탄산단2길 66 66 Dongtansandan2gil, Dongtan-myeon Hwaseong-si Gyeonggi-do 18487, KR
Inventeurs :
송민섭 SONG, Min Sub; KR
이호준 LEE, Ho Joon; KR
임영송 LIM, Young Song; KR
Mandataire :
이오식 LEE, Oh-sik; KR
Données relatives à la priorité :
10-2017-001500302.02.2017KR
Titre (EN) TRANSFER LOCATION-MEASURING TEST DUMMY USED IN SEMICONDUCTOR OR DISPLAY SYSTEM FIELD AND PRECISE TRANSFER MEASURING METHOD USING TRANSFER LOCATION-MEASURING TEST DUMMY USED IN SEMICONDUCTOR OR DISPLAY SYSTEM FIELD
(FR) MANNEQUIN ANTHROPOMORPHE DE MESURE DE POSITION DE TRANSFERT UTILISÉ DANS UN CHAMP DE SYSTÈME DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'AFFICHAGE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TRANSFERT PRÉCIS UTILISANT UN MANNEQUIN ANTHROPOMORPHE DE MESURE DE POSITION DE TRANSFERT UTILISÉ DANS UN CHAMP DE SYSTÈME DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'AFFICHAGE
(KO) 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미 및 상기 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미를 이용한 정밀 이송 측정 방법
Abrégé :
(EN) A disclosed transfer location-measuring test dummy used in a semiconductor or display system field comprises a dummy body, a pinhole image measuring member, a slot image measuring member, and a central processing member. Therefore, the test dummy is advantageous in that the same can measure the height of a slot inside a storage case so as to prevent an object to be sensed from colliding against the slot, and can determine whether the object to be sensed is transferred normally to a location to which the object is to be transferred in a manufacturing device by using a lift pinhole even when a separate reference point is not formed.
(FR) Selon l'invention, un mannequin anthropomorphe de mesure de position de transfert utilisé dans un champ de système de semi-conducteur ou d'affichage comprend un corps factice, un élément de mesure d'image de trou d'épingle, un élément de mesure d'image de fente et un élément de traitement central. Par conséquent, le mannequin anthropomorphe est avantageux en ce qu'il peut mesurer la hauteur d'une fente à l'intérieur d'un boîtier de stockage de façon à empêcher un objet à détecter d'entrer en collision contre la fente, et peut déterminer si l'objet à détecter est transféré normalement vers un emplacement vers lequel l'objet doit être transféré dans un dispositif de fabrication à l'aide d'un trou d'épingle de levage même lorsqu'un point de référence séparé n'est pas formé.
(KO) 개시되는 반도체 또는 디스플레이 시스템 분야에서 사용되는 이송 위치 측정용 테스트 더미가 더미 몸체, 핀 홀 영상 측정 부재, 슬롯 영상 측정 부재, 중앙 처리 부재를 포함함에 따라 감지 대상체가 보관함 내의 슬롯에 부딪치지 않도록 슬롯의 높이를 측정할 수 있고, 별도의 기준점이 형성되어 있지 않아도 리프트 핀 홀을 이용하여 제조 장비에서 감지 대상체가 이송되어야 하는 위치에 정상적으로 이송되는지를 판단할 수 있는 장점이 있다.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)