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1. (WO2018143280) FILM SEMI-CONDUCTEUR À BASE D'OXYDE AMORPHE, CORPS EN OXYDE FRITTÉ ET TRANSISTOR EN COUCHES MINCES

Pub. No.:    WO/2018/143280    International Application No.:    PCT/JP2018/003234
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 01 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 14/08
C04B 35/01
C23C 14/34
H01L 21/203
H01L 29/786
Applicants: IDEMITSU KOSAN CO.,LTD.
出光興産株式会社
Inventors: INOUE Kazuyoshi
井上 一吉
SHIBATA Masatoshi
柴田 雅敏
Title: FILM SEMI-CONDUCTEUR À BASE D'OXYDE AMORPHE, CORPS EN OXYDE FRITTÉ ET TRANSISTOR EN COUCHES MINCES
Abstract:
Cette invention concerne un corps en oxyde fritté comprenant : un cristal d'In2O3 ; et un cristal A qui présente des pics de diffraction dans les plages d'angles incidents (2θ) définies par (A)-(F), comme mis en évidence par la mesure de diffraction des rayons X (rayons Cu-Kα). (A) : 31,0-34,0° ; (B) : 36,0-39,0° ; (C) : 50,0-54,0° ; (D) : 53,0-57,0° ; (E) : 9,0-11,0° ; (F) : 19,0-21,0°.