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1. (WO2018143130) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/143130    International Application No.:    PCT/JP2018/002766
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 30 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/677
B25J 15/08
B65G 49/07
Applicants: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
川崎重工業株式会社
Inventors: YOSHIDA, Tetsuya
吉田 哲也
KANAMARU, Ryosuke
金丸 亮介
KINOSHITA, Shinya
木下 真也
FUKUSHIMA, Takayuki
福島 崇行
Title: MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne une main de préhension de substrat montée sur une partie d'extrémité de main d'un manipulateur, la main de préhension de substrat saisissant un substrat en forme de disque rond qui est dans une position perpendiculaire ou inclinée, la main de préhension de substrat comprenant : une plaque de base pour laquelle la position de préhension est prescrite, s'étendant vers le côté d'extrémité de pointe à partir du côté d'extrémité de base fixé au niveau de la partie d'extrémité de main; une griffe de mise en prise disposée sur le côté d'extrémité de pointe de la plaque de base, la griffe de mise en prise étant apte à venir en prise avec un bord inférieur au centre du substrat dans la position perpendiculaire ou inclinée; une partie mobile qui se déplace vers le côté d'extrémité de pointe plus loin vers le côté d'extrémité de base que la position de préhension; et une pluralité de rotateurs disposés sur le côté d'extrémité de pointe de la partie mobile, la pluralité de rotateurs appuyant, par le mouvement de la partie mobile, le substrat jusqu'à la position de préhension tout en tournant le long du bord du substrat en étant pressés sur le bord du substrat dans un état en prise avec la griffe de mise en prise à une position en dessous de la position de préhension.