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1. (WO2018143130) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2018/143130 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/002766
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 29.01.2018
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 15/08 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA[JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventeurs : YOSHIDA, Tetsuya; --
KANAMARU, Ryosuke; --
KINOSHITA, Shinya; --
FUKUSHIMA, Takayuki; --
Mandataire : PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Données relatives à la priorité :
2017-01563331.01.2017JP
Titre (EN) SUBSTRATE-GRIPPING HAND AND SUBSTRATE-CONVEYING DEVICE
(FR) MAIN DE PRÉHENSION DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板把持ハンド及び基板搬送装置
Abrégé : front page image
(EN) A substrate-gripping hand mounted on a hand end part of a manipulator, the substrate-gripping hand gripping a round disk-shaped substrate that is in a perpendicular or inclined attitude, wherein the substrate-gripping hand comprises: a base plate for which the gripping position is prescribed, expanding to the tip end side from the base end side fixed at the hand end part; an engaging claw provided on the tip end side of the base plate, the engaging claw being able to engage with an edge lower than the center of the substrate in the perpendicular or inclined attitude; a moving part that moves facing the tip end side farther to the base end side than the gripping position; and a plurality of rotators provided at the tip end side of the moving part, the plurality of rotators pressing, by the movement of the moving part, the substrate up to the gripping position while rotating along the edge of the substrate by being pressed on the edge of the substrate in a state engaged with the engaging claw at a position below the gripping position.
(FR) L'invention concerne une main de préhension de substrat montée sur une partie d'extrémité de main d'un manipulateur, la main de préhension de substrat saisissant un substrat en forme de disque rond qui est dans une position perpendiculaire ou inclinée, la main de préhension de substrat comprenant : une plaque de base pour laquelle la position de préhension est prescrite, s'étendant vers le côté d'extrémité de pointe à partir du côté d'extrémité de base fixé au niveau de la partie d'extrémité de main; une griffe de mise en prise disposée sur le côté d'extrémité de pointe de la plaque de base, la griffe de mise en prise étant apte à venir en prise avec un bord inférieur au centre du substrat dans la position perpendiculaire ou inclinée; une partie mobile qui se déplace vers le côté d'extrémité de pointe plus loin vers le côté d'extrémité de base que la position de préhension; et une pluralité de rotateurs disposés sur le côté d'extrémité de pointe de la partie mobile, la pluralité de rotateurs appuyant, par le mouvement de la partie mobile, le substrat jusqu'à la position de préhension tout en tournant le long du bord du substrat en étant pressés sur le bord du substrat dans un état en prise avec la griffe de mise en prise à une position en dessous de la position de préhension.
(JA) 基板把持ハンドは、マニピュレータの手先部に装着されて、垂直又は傾斜姿勢の円板状の基板を把持する基板把持ハンドであって、手先部に固定される基端側から先端側へと広がる、把持位置が規定されたベース板と、ベース板の先端側に設けられ、垂直又は傾斜姿勢の基板の中心よりも下方の縁と係合可能な係合爪と、把持位置よりも基端側において先端側に向かって移動する移動部と、移動部の先端側に設けられ、移動部の移動により、把持位置より下方の位置で係合爪と係合した状態にある基板の縁に対して押圧されることによって、基板の縁に沿って回転しながら、基板を把持位置へ押し上げる複数の回転体と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)