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1. (WO2018142647) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/142647    International Application No.:    PCT/JP2017/027399
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jul 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H05K 13/02
G01N 21/956
Applicants: CKD CORPORATION
CKD株式会社
Inventors: UMEMURA Nobuyuki
梅村 信行
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'inspection de substrat avec lequel il est possible d'améliorer la fiabilité d'inspection de substrats et de déterminer le caractère approprié d'une largeur de rail à un degré élevé de précision, etc. Le dispositif d'inspection de substrat 1 comporte : des rails de guidage 51, 52, 53, 54 ayant des surfaces de référence de hauteur 51e, 52e, 53e, 54e ; et des caméras d'inspection 91, 92 pour imager un substrat positionné dans la direction de la hauteur. Le positionnement dans la direction de la hauteur est effectué par pression d'une partie d'extrémité de direction de la largeur du substrat contre les surfaces de référence de hauteur 51e, 52e, 53e, 54e par le dessous. Le dispositif d'inspection de substrat 1 comporte des parties de référence 51g, 52g, 53g, 54g disposées sur les rails de guidage 51, 52, 53, 54, et la position des rails de guidage 51, 52, 53, 54 est détectée sur la base de données d'imagerie relatives aux parties de référence 51g, 52g, 53g, 54g. Les parties de référence 51g, 52g, 53g, 54g sont à la même hauteur que les surfaces de référence de hauteur 51e, 52e, 53e, 54e.