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1. (WO2018142540) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN APPAREIL DE TIRAGE DE MONOCRISTAL
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N° de publication : WO/2018/142540 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/003796
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 02.02.2017
CIB :
C30B 15/20 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
30
CROISSANCE DES CRISTAUX
B
CROISSANCE DES MONOCRISTAUX; SOLIDIFICATION UNIDIRECTIONNELLE DES MATÉRIAUX EUTECTIQUES OU DÉMIXTION UNIDIRECTION- NELLE DES MATÉRIAUX EUTECTOÏDES; AFFINAGE DES MATÉRIAUX PAR FUSION DE ZONE; PRODUCTION DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; MONOCRISTAUX OU MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; POST-TRAITEMENT DE MONOCRISTAUX OU DE MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS HOMOGÈNES DE STRUCTURE DÉTERMINÉE; APPAREILLAGES À CET EFFET
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Croissance des monocristaux par tirage hors d'un bain fondu, p.ex. méthode de Czochralski
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Commande ou régulation
Déposants :
株式会社SUMCO SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦一丁目2番1号 2-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058634, JP
Inventeurs :
沖田 憲治 OKITA Kenji; JP
Mandataire :
志賀 正武 SHIGA Masatake; JP
寺本 光生 TERAMOTO Mitsuo; JP
五十嵐 光永 IGARASHI Koei; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DEVICE AND METHOD FOR CLEANING MONOCRYSTAL PULLING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN APPAREIL DE TIRAGE DE MONOCRISTAL
(JA) 単結晶引上装置のクリーニング装置、クリーニング方法
Abrégé :
(EN) A cleaning device 10 for cleaning the inside of a monocrystal pulling apparatus 1 comprises a main tube part 11 which can be inserted into a pull chamber 1a, and an inner surface cleaning mechanism 17 which is provided at the upper portion of the main tube part and is for cleaning the inner surface of the pull chamber, wherein the main tube part has a retreat/housing part 12 for housing therein a retreating seed chuck provided at the lower portion of a wire, and a continuous extension mechanism 13 which is provided at the lower portion of the main tube part and which enables a plurality of extension rods 13A-13D to be added and to extend in the axial direction, whereby the inside of the pull chamber is efficiently cleaned.
(FR) L'invention concerne un dispositif de nettoyage (10) destiné à nettoyer l'intérieur d'un appareil de tirage de monocristal (1), comprenant une partie de tube principal (11), qui peut être insérée dans une chambre de tirage (1a), et un mécanisme de nettoyage de surface interne (17), qui est disposé au niveau de la portion supérieure de la partie de tube principal et qui est destiné à nettoyer la surface interne de la chambre de tirage, la partie de tube principal présentant une partie de retrait/logement (12) destinée à loger en son sein un mandrin de germe en retrait disposé au niveau de la portion inférieure d'un fil, et un mécanisme d'extension continue (13) qui est disposé au niveau de la portion inférieure de la partie de tube principal et qui permet à une pluralité de tiges d'extension (13A-13D) d'être ajoutées et de s'étendre dans la direction axiale, ce qui permet un nettoyage efficace de l'intérieur de la chambre de tirage.
(JA) 単結晶引上装置1内をクリーニングするクリーニング装置10であって、プルチャンバ1a内に挿入可能な主筒部11と、主筒部の上部に、プルチャンバの内面をクリーニングする内面クリーニング機構17を備え、主筒部が、その内部にワイヤー下部のシードチャックを退避収納する退避収納部12と、主筒部の下部に複数の延伸ロッド13A~13Dを軸方向に継ぎ足し可能とする継続延伸機構13と、を備えることで、効率よくプルチャンバ内面クリーニングをおこなう。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)