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1. (WO2018142061) PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILM BIDIMENSIONNEL DE STRUCTURE CRISTALLINE HEXAGONALE

Pub. No.:    WO/2018/142061    International Application No.:    PCT/FR2018/050217
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 01 00:59:59 CET 2018
IPC: C30B 23/02
C30B 23/04
C30B 25/18
C30B 29/02
H01L 21/683
C30B 33/06
Applicants: SOITEC
Inventors: GHYSELEN, Bruno
BETHOUX, Jean-Marc
Title: PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILM BIDIMENSIONNEL DE STRUCTURE CRISTALLINE HEXAGONALE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un film bidimensionnel d'un matériau du groupe IV présentant une structure cristalline hexagonale, notamment de graphène, comprenant : - la formation d'un substrat de croissance (100), comprenant le transfert d'un film métallique (1) monocristallin adapté pour la croissance dudit film bidimensionnel sur un substrat support (2), et - la croissance par épitaxie du film (3) bidimensionnel sur le film métallique dudit substrat (100).